アルカリ可溶性樹脂及びこれを含むフォトレジスト組成物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-033745
公開番号（公開出願番号）：特開平9-230593
出願日： 1996年02月21日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】解像力及び耐熱性がよく、しかも保存安定に優れ、熱処理に際して昇華物の発生しないフォトレジスト組成物を提供する。【解決手段】フェノール類と芳香族アルデヒドとの重縮合物であって環状オリゴマーの含有量が2重量%以下のものを、アルカリ可溶性樹脂の一部として用い、且つフォトレジスト組成物の固形物に占める環状オリゴマー量を0.2重量%以下とする。

請求項１：

一般式(1)で示されるフェノール類と、一般式(2)で示される芳香族アルデヒドを含むカルボニル化合物との重縮合物であって、環状オリゴマーの含有量が2重量%以下であることを特徴とする芳香族アルデヒド系アルカリ可溶性樹脂。【化1】(式中、R1 は炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のアルコキシ基又はヒドロキシ基を示し、mは0〜3の整数を示す。なお、mが2又は3の場合には、複数のR1 は互に同一でも異っていてもよい。)【化2】(式中、R2 は炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のアルコキシ基又はヒドロキシ基を示し、nは0〜5の整数を示す。なお、nが2以上の場合には、複数のR2 は互に同一でも異っていてもよい。)

IPC (3件)：

G03F 7/023 511 , C08G 8/04 NBZ , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/023 511 , C08G 8/04 NBZ , H01L 21/30 502 R

引用特許：

出願人引用 (6件)

ポジ型フォトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-091176 出願人：三菱化成株式会社
特開平3-125152
特開昭60-097347

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審査官引用 (8件)

ポジ型フォトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-091176 出願人：三菱化成株式会社
特開平3-125152
レジストパターンの形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-248044 出願人：富士通株式会社

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