特許
J-GLOBAL ID:200903001868412366
機能性材料定着方法、機能性材料定着装置、デバイス製造方法、電気光学装置及び電子機器
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
稲葉 良幸
, 田中 克郎
, 大賀 眞司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-007153
公開番号(公開出願番号):特開2005-095849
出願日: 2004年01月14日
公開日(公表日): 2005年04月14日
要約:
【課題】 機能性材料を被着面上の所定位置に精度よく定着させる方法を提案する。【解決手段】 本発明の機能性材料定着方法は溶媒(13)中に分散された機能性材料(11)を含む液滴(10)を被着面(20a)上に吐出する液滴吐出工程(図8(a))と、被着面(20a)上に吐出された液滴(10)にレーザ光を照射することにより液滴(10)を局所的に加熱し、液滴(10)の一部を気化させる乾燥工程(図8(b))と、を含む。【選択図】 図8
請求項(抜粋):
溶媒中に分散された機能性材料を含む液滴を被着面上に吐出する液滴吐出工程と、
前記被着面上に吐出された液滴にレーザ光を照射することにより前記液滴を局所的に加熱し、前記液滴の一部を気化させる乾燥工程と、
を含む、機能性材料定着方法。
IPC (9件):
B05D1/26
, B05C5/00
, B05C9/14
, B05D3/06
, G02B5/20
, H05B33/10
, H05B33/14
, H05K3/00
, H05K3/10
FI (9件):
B05D1/26 Z
, B05C5/00 101
, B05C9/14
, B05D3/06 Z
, G02B5/20 101
, H05B33/10
, H05B33/14 A
, H05K3/00 N
, H05K3/10 D
Fターム (54件):
2H048BA64
, 2H048BB02
, 3K007AB18
, 3K007BA06
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 3K007FA03
, 4D075AC06
, 4D075AC09
, 4D075AC88
, 4D075AC93
, 4D075AE03
, 4D075AE04
, 4D075BB24Z
, 4D075BB29Z
, 4D075BB45Z
, 4D075BB48Z
, 4D075BB54Z
, 4D075CA22
, 4D075CB07
, 4D075CB08
, 4D075CB38
, 4D075DA06
, 4D075DB13
, 4D075DC19
, 4D075DC21
, 4D075DC24
, 4D075EA07
, 4D075EA10
, 4D075EA45
, 4D075EC07
, 4D075EC10
, 4D075EC11
, 4D075EC17
, 4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041AB01
, 4F041BA10
, 4F041BA13
, 4F041BA46
, 4F042AA02
, 4F042AA06
, 4F042AB00
, 4F042BA08
, 4F042BA19
, 4F042BA22
, 4F042DB01
, 5E343BB25
, 5E343BB76
, 5E343DD01
, 5E343ER45
, 5E343ER47
, 5E343FF05
, 5E343GG08
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (7件)
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