特許
J-GLOBAL ID：200903072091464272

素子製造方法および素子製造装置

発明者：
木口 浩史

木口 浩史 について

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古沢 昌宏

古沢 昌宏 について

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三浦 弘綱

三浦 弘綱 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-236369
公開番号（公開出願番号）：特開2002-261048
出願日： 2001年08月03日
公開日（公表日）： 2002年09月13日
要約：
【要約】【課題】 低コストな機能性液体付与方法を用いて、液滴が不必要に濡れ広がらず微細な配線の形成が可能な素子製造方法及び製造装置を提供する。【解決手段】 RFIDタグ10などの素子を形成する方法であって、素子形成基板11上に、機能性液体に対する親和性が互いに異なる複数の部分をパターニングする工程と、前記機能性液体を、前記複数の部分のうち前記機能性液体に対する親和性が高い部分に選択的に付与する工程と、を有する。機能性液体に対する親和性が互いに異なる複数の部分を形成する工程は、例えば基板上にオルガノシロキサン膜を付与し、これに光学マスクを介して露光させる工程を有する。
請求項（抜粋）：
素子形成基板に機能性液体を付与して素子を製造する方法であって、前記素子形成基板上に、前記機能性液体に対する親和性が互いに異なる複数の部分をパターニングする工程と、前記機能性液体を、前記複数の部分のうち前記機能性液体に対する親和性が高い部分に選択的に付与する工程と、を有する素子製造方法。
IPC (5件)：
H01L 21/288 ,  B41J 2/01 ,  G06K 19/07 ,  G06K 19/077 ,  H01L 21/3205
FI (5件)：
H01L 21/288 Z ,  G06K 19/00 H ,  B41J 3/04 101 Z ,  G06K 19/00 K ,  H01L 21/88 B
Fターム (19件)：
2C056EA24 ,  2C056FB01 ,  4M104BB04 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104DD46 ,  4M104DD51 ,  4M104DD78 ,  5B035AA04 ,  5B035BB09 ,  5B035CA23 ,  5F033HH11 ,  5F033HH13 ,  5F033HH14 ,  5F033PP26 ,  5F033QQ01 ,  5F033RR23 ,  5F033RR25 ,  5F033SS21
引用特許：
審査官引用 (6件)
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