エネルギビームにより生成される変換効率が高く汚染が最小限であるプラズマから、極紫外線を生成するための構造

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤田アキラ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-102703
公開番号（公開出願番号）：特開2007-288190
出願日： 2007年04月10日
公開日（公表日）： 2007年11月01日
要約：

【課題】13.5nm付近の波長域のEUV光へのエネルギビーム(4)の効率的な変換を許容し、光学系構成部品および噴射ユニット(13)の高寿命を保証する、エネルギビーム誘導プラズマ(5)によるEUV光の生成の新たな可能性を見出す。【解決手段】粒子(14)とキャリアガス(15)の混合物を使用する場合に、ターゲット供給装置(1)が一つのガス液化チャンバー(12)を有し、その際、ターゲット材料が、液化キャリアガス(17)中の固形金属粒子(14)の混合物(16)として噴射ユニット(13)に供給されること、および、所定の液滴サイズおよび液滴列(2)を生成するための液滴生成器(131)が備えられ、その際、液滴列(23)を生成するために、前記噴射ユニット(13)に、エネルギビーム(4)のパルス周波数によりトリガされる、周波数に従属して制御可能な手段(132;135、136、137、138;31、32)が接続される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

エネルギビームにより生成される変換効率が高いプラズマから極紫外線を生成するための構造にして、エネルギのパルスビームがプラズマ生成チャンバー内でターゲットとの相互作用位置に向けられ、またターゲット供給装置が、発光効率の良いターゲット材料の粒子と、少なくとも一つのキャリアガスとの混合物を形成するための混合チャンバー、ならびに、発光効率の良いターゲット材料を、エネルギパルスによって放射線に変換可能な分量だけ相互作用位置へ供給できるようにするために、それぞれ所定のターゲット体積をプラズマ生成チャンバー内に配量して放出するための噴射ユニットを有している構造において、 -前記ターゲット供給装置(1)が一つのガス液化チャンバー(12)を有し、その際、前記ターゲット材料が、液化キャリアガス(15)中の固形金属粒子(14)の混合物(16)として、前記噴射ユニット(13)に供給されること、および、 -前記噴射ユニット(13)が、所定の液滴サイズおよび液滴列(2)を生成するための、ノズル室(134)とターゲットノズル(133)とを備えた液滴生成器(131)を有し、その際、時間制御された液滴(23)の列(2)を生成するために、前記噴射ユニット(13)に、エネルギビーム(4)のパルス周波数によりトリガされる、周波数に従属して制御可能な手段(132、135、136、137、138;31、32)が接続されることを特徴とする、構造。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , H05G 2/00

FI (2件)：

H01L21/30 531S , H05G1/00 K

Fターム (9件)：

4C092AA06 , 4C092AA13 , 4C092AA14 , 4C092AA15 , 4C092AA17 , 4C092AB21 , 4C092AC09 , 4C092BD18 , 5F046GC03

引用特許：

出願人引用 (7件)

米国特許第6,831,963号明細書
米国特許出願公開第2004/0208286号明細書
国際特許出願公開第2002/46839号明細書

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審査官引用 (4件)

レーザープラズマ発生方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-080378 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所
光波発生装置及び光波発生方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-196236 出願人：日本電気株式会社
液体金属溶液及び溶液中のナノサイズ粒子から生成されたレーザプラズマから生成されるEUV、XUV、及びX線波長源
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-548511 出願人：ユニバーシティ・オブ・セントラル・フロリダ

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