特許
J-GLOBAL ID:200903002095052183
プラズマ生成用誘導装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (7件):
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 仲村 義平
, 堀井 豊
, 野田 久登
, 酒井 將行
, 荒川 伸夫
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-529236
公開番号(公開出願番号):特表2009-510670
出願日: 2006年08月30日
公開日(公表日): 2009年03月12日
要約:
トーチにおいてプラズマを維持するための装置が提供される。ある実施例では、装置は、電源に連結するように構成されてトーチの半径面に沿ってループ電流を流すように構成配置された第1の電極を備える。いくつかの実施例では、トーチの半径面はトーチ長手方向軸に実質的と直交する。
請求項(抜粋):
トーチの作動時にガス流が導入される長手方向軸を有し、前記トーチの前記長手方向軸と実質的に直交する半径面を有する前記トーチにおいてプラズマを生成するための装置であって、電源に連結するように構成されて前記トーチの前記半径面に沿ってループ電流を流すように構成配置された第1の電極を備える装置。
IPC (4件):
H05H 1/30
, G01N 21/73
, G01N 27/62
, G01N 21/31
FI (4件):
H05H1/30
, G01N21/73
, G01N27/62 G
, G01N21/31 610B
Fターム (20件):
2G041CA01
, 2G041DA14
, 2G041EA03
, 2G041FA17
, 2G041FA19
, 2G041GA03
, 2G043AA01
, 2G043BA05
, 2G043BA07
, 2G043CA04
, 2G043DA05
, 2G043EA08
, 2G043HA01
, 2G043JA01
, 2G043MA01
, 2G059AA01
, 2G059BB08
, 2G059CC03
, 2G059EE06
, 2G059EE12
引用特許:
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