特許
J-GLOBAL ID:200903002095052183

プラズマ生成用誘導装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (7件): 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行 ,  荒川 伸夫
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-529236
公開番号(公開出願番号):特表2009-510670
出願日: 2006年08月30日
公開日(公表日): 2009年03月12日
要約:
トーチにおいてプラズマを維持するための装置が提供される。ある実施例では、装置は、電源に連結するように構成されてトーチの半径面に沿ってループ電流を流すように構成配置された第1の電極を備える。いくつかの実施例では、トーチの半径面はトーチ長手方向軸に実質的と直交する。
請求項(抜粋):
トーチの作動時にガス流が導入される長手方向軸を有し、前記トーチの前記長手方向軸と実質的に直交する半径面を有する前記トーチにおいてプラズマを生成するための装置であって、電源に連結するように構成されて前記トーチの前記半径面に沿ってループ電流を流すように構成配置された第1の電極を備える装置。
IPC (4件):
H05H 1/30 ,  G01N 21/73 ,  G01N 27/62 ,  G01N 21/31
FI (4件):
H05H1/30 ,  G01N21/73 ,  G01N27/62 G ,  G01N21/31 610B
Fターム (20件):
2G041CA01 ,  2G041DA14 ,  2G041EA03 ,  2G041FA17 ,  2G041FA19 ,  2G041GA03 ,  2G043AA01 ,  2G043BA05 ,  2G043BA07 ,  2G043CA04 ,  2G043DA05 ,  2G043EA08 ,  2G043HA01 ,  2G043JA01 ,  2G043MA01 ,  2G059AA01 ,  2G059BB08 ,  2G059CC03 ,  2G059EE06 ,  2G059EE12
引用特許:
審査官引用 (7件)
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