特許
J-GLOBAL ID:200903002110228927
高速摺動部材及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
的場 基憲
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-216631
公開番号(公開出願番号):特開2007-031773
出願日: 2005年07月27日
公開日(公表日): 2007年02月08日
要約:
【課題】スティックスリップが生じにくく、摩擦係数を一層低減できる高速摺動部材及びその製造方法を提供すること。【解決手段】表面粗さがRa0.005〜0.1μmである金属部材に粒状突起形状を有するDLC膜が被覆され、この粒状突起の高さが0.02〜0.05μmであり、DLC膜の表面粗さがRsk0〜4μmである高速摺動部材である。DLC膜に水素を10原子%以下の割合で含有する。DLC膜の硬度が70〜90GPaである。 DLCをイオンプレーティング法により被覆し、エアロラップ処理を行い高速摺動部材を製造する。【選択図】なし
請求項(抜粋):
表面粗さがRa0.005〜0.1μmである金属部材に、表面に粒状突起形状を有するダイヤモンドライクカーボン膜が被覆され、この粒状突起の高さが0.02〜0.05μmであり、且つ前記ダイヤモンドライクカーボン膜の表面粗さがRsk0〜4μmであることを特徴とする高速摺動部材。
IPC (2件):
FI (2件):
C23C14/06 F
, C01B31/02 101Z
Fターム (25件):
3J030BC03
, 3J030CA10
, 4G146AA05
, 4G146AB07
, 4G146AC01A
, 4G146AC01B
, 4G146AC23A
, 4G146AC23B
, 4G146AC27A
, 4G146AD26
, 4G146BA12
, 4G146BC17
, 4G146BC23
, 4G146BC27
, 4G146DA03
, 4G146DA17
, 4K029AA02
, 4K029BA34
, 4K029BD04
, 4K029CA03
, 4K029CA05
, 4K029DC02
, 4K029DC39
, 4K029DD06
, 4K029FA04
引用特許:
出願人引用 (3件)
審査官引用 (13件)
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