特許
J-GLOBAL ID：200903002125644455

固定砥粒研削研磨用工具とその製造方法、および固定砥粒研削研磨用工具を用いた被研磨体の研削研磨方法

発明者：
岸本 幹雄

岸本 幹雄 について

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大下 格

大下 格 について

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池野 順一

池野 順一 について

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高橋 敦哉

高橋 敦哉 について


出願人/特許権者：
日立マクセル株式会社

日立マクセル株式会社 について

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池野 順一

池野 順一 について

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京セラキンセキ株式会社

京セラキンセキ株式会社 について


代理人 (1件)： 折寄 武士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-224074
公開番号（公開出願番号）：特開2006-043782
出願日： 2004年07月30日
公開日（公表日）： 2006年02月16日
要約：
【課題】研削性に優れ、しかも研削後の被加工物において優れた表面平滑性が得られる固定砥粒研削研磨用工具とその製造方法、および該工具を用いた研削研磨方法を提供する。【解決手段】被研磨体の一面を研磨するための固定砥粒研削研磨用工具を、酸化物粒子からなる砥粒と、水溶性高分子からなる結合剤とで構成し、この工具の形状を扁平形状とし、その厚さを1〜20mmの範囲に、研磨面の面積を1〜3000cm2 の範囲に、さらに厚さに対する研磨面方向における最大長さの比を2〜300の範囲にする。このような固定砥粒研削研磨用工具は、結合剤となる水溶性高分子を所定量の水に溶解させた後、得られた水溶液中に砥粒となる酸化物粒子を分散させ、得られた分散液を用いて特定の形状に成形することによって得られる。この固定砥粒研削研磨用工具を用いて被研磨体を研磨する際には、被研磨体に固定砥粒研削研磨用工具を押し当てながら、同時に適度の湿度あるいは水を付加しながら研削研磨する。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
被研磨体の一面を研磨するための固定砥粒研削研磨用工具であって、酸化物粒子からなる砥粒と、水溶性高分子からなる結合剤とで構成されており、 かつ該工具の厚さが1〜20mmの範囲に、研磨面の面積が1〜3000cm2 の範囲に、さらに厚さに対する研磨面方向における最大長さの比が2〜300の範囲にある扁平形状を有する固定砥粒研削研磨用工具。
IPC (4件)：
B24D 3/12 ,  B24D 3/00 ,  B24D 7/02 ,  H01L 21/304
FI (7件)：
B24D3/12 ,  B24D3/00 320A ,  B24D3/00 330E ,  B24D3/00 340 ,  B24D3/00 350 ,  B24D7/02 Z ,  H01L21/304 622F
Fターム (10件)：
3C063AA02 ,  3C063AB02 ,  3C063AB07 ,  3C063BA02 ,  3C063BB01 ,  3C063BB06 ,  3C063BC01 ,  3C063CC01 ,  3C063CC17 ,  3C063EE10
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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