特許
J-GLOBAL ID：200903002206126270

熱欠陥発生がなくかつ密着力に優れた液晶表示装置用配線および電極

発明者：
高山 新司

高山 新司 について

, 
森 曉

森 曉 について

, 
森 理恵

森 理恵 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (3件)： 富田 和夫 ,  鴨井 久太郎 ,  影山 秀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-025297
公開番号（公開出願番号）：特開2009-185323
出願日： 2008年02月05日
公開日（公表日）： 2009年08月20日
要約：
【課題】液晶表示装置の配線および電極を形成するための銅合金薄膜を提供する。【解決手段】Zn:0.05〜5原子%含有し、さらにSi、Ti、YおよびAlの内の1種または2種以上を合計で0.01〜0.5原子%を含有し、残部がCuおよび不可避不純物からなる組成を有する銅合金薄膜からなる熱欠陥発生がなくかつ密着力に優れた液晶表示装置用配線および電極。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
Zn:0.05〜5原子%含有し、さらにSi、Ti、YおよびAlの内の1種または2種以上を合計で0.01〜0.5原子%を含有し、残部がCuおよび不可避不純物からなる組成を有する銅合金薄膜からなることを特徴とする熱欠陥発生がなくかつ密着力に優れた液晶表示装置用配線。
IPC (11件)：
C22C 9/04 ,  C22C 9/01 ,  C22C 9/10 ,  C22C 9/00 ,  H01L 21/285 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/320 ,  H01L 23/52 ,  C23C 14/14 ,  G02F 1/134 ,  G02F 1/136
FI (10件)：
C22C9/04 ,  C22C9/01 ,  C22C9/10 ,  C22C9/00 ,  H01L21/285 S ,  H01L21/28 301R ,  H01L21/88 M ,  C23C14/14 D ,  G02F1/1343 ,  G02F1/1368
Fターム (31件)：
2H092HA06 ,  2H092JA24 ,  2H092KA18 ,  2H092KB04 ,  2H092MA05 ,  2H092NA25 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA21 ,  4K029BC03 ,  4K029BD02 ,  4K029CA05 ,  4K029DA08 ,  4K029DC04 ,  4K029DC08 ,  4K029DC34 ,  4M104BB04 ,  4M104BB38 ,  4M104DD37 ,  4M104DD40 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104HH08 ,  5F033GG04 ,  5F033HH12 ,  5F033LL09 ,  5F033PP15 ,  5F033VV15 ,  5F033XX13 ,  5F033XX16
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (3件)

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