特許
J-GLOBAL ID:200903022007903455
表示デバイス
発明者:
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
植木 久一
, 菅河 忠志
, 二口 治
, 伊藤 浩彰
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-272643
公開番号(公開出願番号):特開2007-017926
出願日: 2005年09月20日
公開日(公表日): 2007年01月25日
要約:
【課題】 透明電極膜(画素電極)との接続にAl合金よりも電気抵抗の低いCu合金膜を使用し、且つ、バリアメタルを形成せずとも透明電極との間で低抵抗の直接接続を実現し、液晶パネルなどに適用した場合に高い表示品質を与える表示デバイスを提供すること。【解決手段】 Cu合金膜からなる配線・電極部と透明導電膜が、高融点金属薄膜を介することなく直接接続している表示デバイスであって、前記Cu合金膜中に、Znおよび/またはMgを総量で0.1〜3.0原子%含有させ、あるいはNiおよび/またはMnを総量で0.1〜0.5原子%含有させ、バリアメタルなしで透明電極との間で低抵抗の直接接続を可能にした。【選択図】 図10
請求項(抜粋):
Cu合金膜からなる配線・電極部と透明導電膜が、高融点金属薄膜を介することなく直接接続している表示デバイスであって、前記Cu合金膜中に、Znおよび/またはMgが総量で0.1〜3.0原子%含まれていることを特徴とする表示デバイス。
IPC (3件):
G02F 1/134
, G09F 9/30
, H01L 29/786
FI (4件):
G02F1/1343
, G09F9/30 330Z
, G02F1/1345
, H01L29/78 616V
Fターム (44件):
2H092GA11
, 2H092GA31
, 2H092HA04
, 2H092HA06
, 2H092JA24
, 2H092JB01
, 2H092JB11
, 2H092JB21
, 2H092JB22
, 2H092JB31
, 2H092KA15
, 2H092NA28
, 5C094AA21
, 5C094AA31
, 5C094BA21
, 5C094BA43
, 5C094EA10
, 5C094FB12
, 5F110AA03
, 5F110BB01
, 5F110CC07
, 5F110DD02
, 5F110EE02
, 5F110EE44
, 5F110FF03
, 5F110FF30
, 5F110GG02
, 5F110GG15
, 5F110GG24
, 5F110HK02
, 5F110HK04
, 5F110HK06
, 5F110HK09
, 5F110HK16
, 5F110HK17
, 5F110HK18
, 5F110HK22
, 5F110HK25
, 5F110HK33
, 5F110HL07
, 5F110HL23
, 5F110NN04
, 5F110NN24
, 5F110NN35
引用特許:
前のページに戻る