圧電素子

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：白崎真二 , 阿部綽勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-382102
公開番号（公開出願番号）：特開2006-190720
出願日： 2004年12月28日
公開日（公表日）： 2006年07月20日
要約：

【課題】本発明の目的は、高い信頼性を持った酸化絶縁膜を適用して圧電素子の短絡の防止性能を向上させ、500°C以上の温度でも安心して使用することができる圧電素子を提供すること。【解決手段】導電性基板1上に圧電体層3及び電極層4を形成する圧電素子において、導電性基板1の上面に基板材料を構成する少なくとも一つの成分元素と雰囲気ガスとの化学反応により、絶縁層2を形成し、導電性基板1との間に絶縁層2及び圧電体層3を挟み込むように電極層4を形成した。また絶縁層2には、厚さ0.1μm〜1μmの酸化膜を適用することができる他、窒化膜を用いることもできる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

導電性基板上に圧電体層及び電極層を形成する圧電素子において、導電性基板の少なくとも一方の面に該導電性基板の基板材料を構成する少なくとも一つの成分元素と雰囲気ガスとの化学反応により、絶縁層を形成し、該絶縁層の上に圧電体層を形成したことを特徴とする圧電素子。

IPC (4件)：

H01L 41/08 , H01L 41/18 , H01L 41/187 , H01L 41/22

FI (7件)：

H01L41/08 Z , H01L41/18 101A , H01L41/18 101B , H01L41/18 101C , H01L41/18 101D , H01L41/18 101Z , H01L41/22 Z

引用特許：

出願人引用 (7件)

特公昭54-7960号公報
インクジェットヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-146215 出願人：三田工業株式会社
特開昭62-005601

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審査官引用 (5件)

圧電体構造物およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-203778 出願人：東海ゴム工業株式会社
特開昭62-005601
弾性表面波デバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-226365 出願人：セイコーエプソン株式会社

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