特許
J-GLOBAL ID：200903002427594929
研磨システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-149214
公開番号（公開出願番号）：特開2009-291904
出願日： 2008年06月06日
公開日（公表日）： 2009年12月17日
要約：
【課題】ローラを介してキャリア定盤を回転させる研磨システムにおいて、ローラとキャリア定盤の周面との接触状態を均一化して効率的に回転を伝達する。【解決手段】キャリア定盤40は、ローラ110を回転駆動するローラ駆動モータ115とローラを径方向に移動させるローラ移動構造150とを備えてキャリア定盤40の周囲に配設された複数のローラ駆動ユニット100により回転される。研磨システムは、キャリア定盤40が回転した時に各ローラ駆動ユニット100の配設領域を通る定盤外周面45の位置を検出する径方向位置検出部160を備え、制御装置が、径方向位置検出部160により検出される外周面45の位置に応じて、各ローラ駆動ユニットのローラ110の移動位置及び回転速度を制御するように構成される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
上下に対向して設けられた円盤状の上定盤及び下定盤、基板を保持する基板収容部を有し前記上定盤と前記下定盤との間に配設されるキャリア、前記上定盤及び前記下定盤よりも大径の円環状に形成されて内周に前記キャリアが接続されたキャリア定盤、及び前記キャリア定盤を回転させることにより前記上定盤と前記下定盤との間に挟持された前記キャリアを回転させるキャリア定盤駆動機構を備え、
前記キャリア定盤駆動機構は、外周面が前記キャリア定盤の周面に接し上下に延びるローラ軸廻りに回動自在に支持されたローラ、前記ローラを回転駆動するローラ駆動モータ、及び前記ローラを前記キャリア定盤の径方向に移動させるローラ移動構造を有し、前記ローラを前記ローラ駆動モータにより回転駆動して前記キャリア定盤を回転させる複数のローラ駆動ユニットからなり、
各前記ローラ駆動ユニットにおける前記ローラの配設領域を通る前記キャリア定盤の前記周面の径方向位置を検出する径方向位置検出手段と、
各前記ローラ駆動ユニットの前記ローラ移動構造による前記ローラの移動位置及び前記ローラ駆動モータによる前記ローラの回転速度を制御する制御装置とを備え、
前記制御装置が、前記径方向位置検出手段により検出される前記周面の径方向位置に応じて、前記キャリア定盤の前記周面と各前記ローラ駆動ユニットの前記ローラとの接触状態が一定になるように、各前記ローラ駆動ユニットにおける前記ローラの移動位置及び回転速度を制御するように構成したことを特徴とする研磨システム。
IPC (2件)：
FI (3件)：
B24B37/04 E
, B24B37/04 F
, B24B41/06 L
3C034AA07
, 3C034BB75
, 3C034BB87
, 3C034BB92
, 3C034CA02
, 3C034CA13
, 3C034CB07
, 3C034CB14
, 3C034DD14
, 3C058AA07
, 3C058AA18
, 3C058AB04
, 3C058AB06
, 3C058AB09
, 3C058AC02
, 3C058BA01
, 3C058BA07
, 3C058BA13
, 3C058BB02
, 3C058BC01
, 3C058CA06
, 3C058CB03
, 3C058CB04
, 3C058CB09
, 3C058DA06
