特許
J-GLOBAL ID：200903052953726616

角型基板用キャリア及び角型基板用両面研磨装置並びに角型基板の研磨方法

発明者：
松枝 実

松枝 実 について

, 
山川 太一

山川 太一 について


出願人/特許権者：
直江津精密加工株式会社

直江津精密加工株式会社 について


代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-130243
公開番号（公開出願番号）：特開2007-301650
出願日： 2006年05月09日
公開日（公表日）： 2007年11月22日
要約：
【課題】フォトマスク基板等の角型基板を両面研磨する際、基板の所定の位置で研磨を促進させることで高い平坦度と対称性を有する角型基板に仕上げることができ、しかも製造が容易で安価なキャリアを提供する。【解決手段】角型基板6を両面研磨する際に研磨布が貼着された上下の定盤間に前記角型基板を保持するための角型基板用キャリアであって、前記角型基板を収容して保持するための保持孔2を有し、該保持孔の周辺の一部に前記角型基板とのクリアランスが他の部分よりも大きくなる部分4aが形成されていることを特徴とする角型基板用キャリア1。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
角型基板を両面研磨する際に研磨布が貼着された上下の定盤間に前記角型基板を保持するための角型基板用キャリアであって、前記角型基板を収容して保持するための保持孔を有し、該保持孔の周辺の一部に前記角型基板とのクリアランスが他の部分よりも大きくなる部分が形成されていることを特徴とする角型基板用キャリア。
IPC (1件)：
B24B 37/04
FI (2件)：
B24B37/04 C ,  B24B37/04 F
Fターム (7件)：
3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058CA01 ,  3C058CA06 ,  3C058CB01 ,  3C058DA06 ,  3C058DA18
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (1件)
  • 研磨用キャリヤ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-161923   出願人：日本電気硝子株式会社

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