特許
J-GLOBAL ID：200903002448007799
弾性表面波装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-146187
公開番号（公開出願番号）：特開平8-340233
出願日： 1995年06月13日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：
【要約】【目的】 弾性表面波装置において、再現性及び信頼性の優れた高耐電力性の電極を提供する。【構成】 遷移金属あるいはその合金Mの下地膜2とこの上に堆積したAlあるいはAl系合金よりなる電極3において、下地膜2が、遷移金属あるいは合金MにSiを0.5〜5重量%添加したM-Si合金であり、金属Mは遷移金属のいずれか1種、あるいはそれらの二種類以上よりなる合金であって、かつ、AlまたはAl系合金が(111)配向であることを特徴とする弾性表面波装置である。この上に堆積するAlまたはAl系合金膜が(111)に強く配向させるためには、M-Si合金下地膜の膜厚が0.3〜3nmであることが望ましい。
請求項（抜粋）：
下地膜とこの上に堆積したアルミニウム(Al)またはAl系合金より成る電極において、該下地膜が、金属Mに0.5〜5重量%のシリコン(Si)を添加してなるM-Si合金であり、金属Mは遷移金属のいずれか1種、あるいはそれらの二種類以上よりなる合金であって、該AlまたはAl系合金が(111)配向であることを特徴とする弾性表面波装置。
IPC (4件)：
H03H 9/25
, H01L 21/3205
, H01L 29/43
, H03H 9/145
H03H 9/25 Z
, H03H 9/145 Z
, H01L 21/88 N
, H01L 21/88 R
, H01L 29/46 M
