特許
J-GLOBAL ID：200903002593377049

硬質炭素皮膜とそれを用いた機械摺動部品

発明者：
大元 誠一郎

大元 誠一郎 について

, 
岩村 栄治

岩村 栄治 について


出願人/特許権者：
株式会社神戸製鋼所

株式会社神戸製鋼所 について


代理人 (2件)： 梶 良之 ,  須原 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-263037
公開番号（公開出願番号）：特開2004-099963
出願日： 2002年09月09日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：
【課題】油潤滑環境下での使用の場合でも、優れた耐摩耗性や摩擦特性、並びに耐久性を有する硬質炭素皮膜とそれを用いた摺動部品を提供することである。【解決手段】カーボンターゲット7およびAgチップ8を用いて、直流マグネトロンスパッタリング法により、基材1の表面にAgを0.1at%〜20at%の範囲で含有させた硬質炭素皮膜を成膜し、成膜中に基材1のバイアス電圧等を変化させて、Agのクラスター密度およびクラスターサイズを、硬質炭素皮膜中に、等価粒径が1nm以上のクラスターの個数が1平方μmあたり、10〜1000個の範囲にあり、かつ、各クラスターの平均等価粒径が10〜50nmの範囲にあるように制御して微細クラスターをバランスよく分散させたのである。それにより潤滑油と硬質炭素皮膜との反応生成物が接触界面に介在し、摺動時に油膜保持に必要な有効面積が確保され、低い摩擦係数を実現することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
Agを0.1〜20at%を含有した硬質炭素皮膜であって、前記硬質炭素皮膜の膜厚方向の厚さ100nmの断面内で、等価粒径が少なくとも1nm以上のAgのクラスターの個数が、1平方μmあたり、10個から1000個の範囲にあり、かつ、前記各クラスターの等価粒径の平均値が10nm〜50nmの範囲にあることを特徴とする硬質炭素皮膜。
IPC (2件)：
C23C14/06 ,  B23B27/14
FI (2件)：
C23C14/06 F ,  B23B27/14 A
Fターム (10件)：
3C046FF12 ,  3C046HH08 ,  4K029BA34 ,  4K029BA64 ,  4K029BB10 ,  4K029BC02 ,  4K029BD04 ,  4K029BD05 ,  4K029CA05 ,  4K029EA01
引用特許：
審査官引用 (4件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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