生産装置の故障診断方法及び生産装置の故障診断システム

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-264278
公開番号（公開出願番号）：特開2003-076414
出願日： 2001年08月31日
公開日（公表日）： 2003年03月14日
要約：

【要約】【課題】多品種工業製品を製造する場合であっても、故障診断を自動的に対応出来る生産装置の故障診断方法及びシステムを提供する。【解決手段】被診断生産装置5;被診断生産装置5の特徴量を測定する特徴量センサ32〜37;被診断生産装置5を駆動・制御するリアルタイムコントローラ531;特徴量センサ32〜37の出力に対して演算処理を行い故障診断データを作成し、故障を判定する故障リアルタイム判定モジュール533;被診断生産装置5と同一/類似の処理を行う参照生産装置の特徴量のデータを装置情報データベースとして記録した装置情報記憶装置103;被診断生産装置5を駆動・制御する製造工程シーケンスのレシピ、及び負荷試験シーケンスのレシピを含む工程管理情報データベースを記録し、レシピをリアルタイムコントローラ531に出力する工程管理情報記憶装置102とを含む。

請求項（抜粋）：

診断対象となる被診断生産装置と同一若しくは類似の処理を行う参照生産装置について、特徴量の時系列データの測定を行い、該測定結果を装置情報記憶装置に装置情報データベースとして記録するステップと、工程管理情報記憶装置に記録された工程管理情報データベースに記載されたレシピを読み出すステップと、該レシピに従い、前記被診断生産装置を駆動・制御し、前記特徴量の時系列データを試験データとして測定し、該試験データをリアルタイムで出力するステップと、前記負荷試験データに対して演算処理を行い、故障診断データを作成するステップと、該故障診断データと、前記装置情報データベースとを用いて、前記被診断生産装置の故障診断を行うステップとを含むことを特徴とする生産装置の故障診断方法。

IPC (2件)：

G05B 19/418 , H01L 21/31

FI (2件)：

G05B 19/418 Z , H01L 21/31 B

Fターム (18件)：

3C100AA58 , 3C100AA63 , 3C100BB27 , 3C100CC02 , 3C100EE06 , 5F045AA06 , 5F045AB33 , 5F045AC05 , 5F045AC12 , 5F045AD12 , 5F045AE19 , 5F045BB20 , 5F045DP19 , 5F045DQ05 , 5F045EK06 , 5F045GB02 , 5F045GB04 , 5F045GB16

引用特許：

審査官引用 (4件)

機器監視・予防保全システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-056610 出願人：株式会社日立製作所
診断システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-278032 出願人：大阪瓦斯株式会社
半導体製造装置の管理システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-068903 出願人：シャープ株式会社

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