特許
J-GLOBAL ID：200903002628463130

基板処理装置管理システム、基板処理装置、基板処理装置管理方法、プログラム、および、記録媒体

発明者：
濱田 哲也

濱田 哲也 について

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亀井 謙治

亀井 謙治 について

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井上 秀和

井上 秀和 について

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北本 徹

北本 徹 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-270699
公開番号（公開出願番号）：特開2003-077787
出願日： 2001年09月06日
公開日（公表日）： 2003年03月14日
要約：
【要約】【課題】 ユーザに負担をかけることなく、基板処理装置の動作を制御するための情報を効率的にバックアップすることを課題とする。【解決手段】 基板処理装置1の記憶部104,114には、設定情報151、制御プログラム152,153が格納されており、基板処理装置1は、これらの情報およびプログラムに従って動作が制御されている。ローカル指示部121は、スケジュール機能を備え、スケジュール従ってバックアップの指示命令を送出する。この指示命令に応答して複製情報取得部122は、記憶部104,114に格納された指定された情報の複製を生成し、複製情報をネットワークを介して情報蓄積サーバ2の格納部221に渡す。格納部221は、受け取った複製情報をバックアップデータ251として固定ディスク24に格納する。また、格納部221は、複製情報の差分データのみを格納することも可能である。
請求項（抜粋）：
a)基板処理装置の動作を制御するための制御情報を格納する第1の記憶手段と、b)前記第1の記憶手段に格納されている制御情報の複製情報を取得する複製情報取得手段と、c)前記複製情報取得手段の取得した複製情報を、前記基板処理装置とネットワークを経由して接続された情報蓄積用コンピュータが備える第2の記憶手段に格納する格納手段と、を備えることを特徴とする基板処理装置管理システム。
IPC (2件)：
H01L 21/02 ,  H01L 21/304 648
FI (2件)：
H01L 21/02 Z ,  H01L 21/304 648 H
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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