干渉式位置測定装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：江崎光史 , 三原恒男 , 奥村義道 , 鍛冶澤實
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-286880
公開番号（公開出願番号）：特開2004-069702
出願日： 2003年08月05日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：

【課題】大きい取付け公差をもち、汚れに強く、コンパクトな構造を可能にする。【解決手段】ビーム束を光学軸線方向に放射する光源1、スケール格子3、走査板4に配置された走査格子4.1、4.2、検出格子5、および検出素子6.1、6.2、6.3から成る。第1の物体に接合されているスケール格子3が第2の物体に接合されている光源1と走査格子4.1、4.2とに対して相対移動するときに、特定の空間的な干渉縞パターンが、検出面内に形成される。スケール格子3は、入射するビームを二つのビーム(+)、(-)に分割する。(+)は走査格子4.1に、(-)ビームは走査格子4.2に入射する。走査格子4.1、4.2から出射したビームは、検出格子5で、三つの方向に分割され、検出素子6.1、6.2、6.3で検出される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの測定方向(x)に沿って互いに移動する2つの物体の相対位置を測定する干渉式位置測定装置が、 -1つの光源(1), -この光源(1)の後方に配置された1つの光学素子(2), -この光源の後方に配置されたスケール格子(3), -各1つの走査格子(4.1,4.2), -検出面内に配置された1つの検出格子(5), -少なくとも3つの空間方向に配置された複数の光電式検出素子(6.1,6.2,6.3)を有し、光源(1)は、1本のビーム束を光学軸線(OA)の方向に放射し、光学素子(2)は、光源(1)から放射されたビーム束を変形させ、スケール格子(3)は、入射したビーム束を異なる空間方向に拡散する少なくとも第1の部分ビーム束(+1)と第2の部分ビーム束(-1)とに分割し、各走査格子(4.1,4.2)は、第1の部分ビーム束(+1)と第2の部分ビーム束(-1)のビーム経路内に配置されていて、この場合、各走査格子(4.1,4.2)は、第1の部分ビーム束(+1)と第2の部分ビーム束(-1)を第3の部分ビーム束,第4の部分ビーム束,第5の部分ビーム束及び第6の部分ビーム束にさらに分割し、これらの部分ビーム束のうちの少なくとも2つの部分ビーム束(+1,-1),(-1,+1)が再び照射され、この場合、第1の物体に接合されているスケール格子(3)が、第2の物体に接合されている光源(1)と走査格子(4.1,4.2)とに対して相対移動するときに、周期的に変調された干渉縞パターンが、特定の空間的な干渉縞パターンの周期(PIF)で検出面内に形成され、検出格子(5)は、この検出格子(5)に入射する光を少なくとも3つの異なる空間方向に分割し、光電式検出素子(6.1,6.2,6.3)は、位相のずれている走査信号 (S0襦,S120襦,S240襦)を検出する。

IPC (1件)：

G01D5/38

FI (1件)：

G01D5/38 A

Fターム (10件)：

2F103CA01 , 2F103CA02 , 2F103CA04 , 2F103DA12 , 2F103DA13 , 2F103EB02 , 2F103EB07 , 2F103EB16 , 2F103EB33 , 2F103EC01

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-221713
光学式変位測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-193317 出願人：キヤノン株式会社
ロータリーエンコーダ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-077006 出願人：松下電器産業株式会社

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