特許
J-GLOBAL ID：200903002816484497

重ね合わせ測定装置

発明者：
遠藤 剛

遠藤 剛 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (2件)： 古谷 史旺 ,  森 俊秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-140753
公開番号（公開出願番号）：特開2006-317306
出願日： 2005年05月13日
公開日（公表日）： 2006年11月24日
要約：
【課題】 画像から求めた重ね合わせずれ量が正しいか否かの判断を行うことができる重ね合わせ測定装置を提供する。【解決手段】 基板11の異なる層に形成された第1マークと第2マークの画像を測定波長域の光によって取り込み、該測定波長域での画像に基づいて、第1マークと第2マークとの重ね合わせずれ量を求める第1計測手段(13〜27)と、第1マークと第2マークの画像を測定波長域とは異なる評価波長域の光によって取り込み、該評価波長域での画像に基づいて、第1マークと第2マークとの重ね合わせずれ量を求める第2計測手段(13〜27)と、第1計測手段が測定波長域で求めた重ね合わせずれ量と、第2計測手段が評価波長域で求めた重ね合わせずれ量とに基づいて、測定波長域での重ね合わせずれ量の信頼性に関わる指標を算出する算出手段27とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板の異なる層に形成された第1マークと第2マークの画像を測定波長域の光によって取り込み、該測定波長域での画像に基づいて、前記第1マークと前記第2マークとの重ね合わせずれ量を求める第1計測手段と、 前記第1マークと前記第2マークの画像を前記測定波長域とは異なる評価波長域の光によって取り込み、該評価波長域での画像に基づいて、前記第1マークと前記第2マークとの重ね合わせずれ量を求める第2計測手段と、 前記第1計測手段が前記測定波長域で求めた重ね合わせずれ量と、前記第2計測手段が前記評価波長域で求めた重ね合わせずれ量とに基づいて、前記測定波長域での重ね合わせずれ量の信頼性に関わる指標を算出する算出手段とを備えた ことを特徴とする重ね合わせ測定装置。
IPC (2件)：
G01B 11/00 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
G01B11/00 C ,  H01L21/30 525G
Fターム (30件)：
2F065AA07 ,  2F065BB01 ,  2F065BB27 ,  2F065CC25 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065FF44 ,  2F065FF48 ,  2F065GG00 ,  2F065GG23 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL21 ,  2F065LL22 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ41 ,  5F046EA03 ,  5F046EA04 ,  5F046EA09 ,  5F046FA03 ,  5F046FA07 ,  5F046FA10 ,  5F046FB09 ,  5F046FB12
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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