特許
J-GLOBAL ID：200903094590813109
液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-199252
公開番号（公開出願番号）：特開2004-042287
出願日： 2002年07月08日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：
【課題】圧電素子の圧電特性を略均一にすることができると共に最大出力で液体吐出を行うことができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】ノズル開口21に連通する圧力発生室12が形成される流路形成基板10と、流路形成基板10の一方面側に振動板を介して設けられる下電極60、圧電体層70及び上電極80からなる圧電素子300とを具備する液体噴射ヘッドにおいて、流路形成基板10の一方面側に形成された酸化ジルコニウム層101と、酸化ジルコニウム層101上に形成された酸化セリウム層と102、酸化セリウム層102上に形成されたイットリウム-バリウム-銅-酸素系材料(YBCO)からなる超電導体層103と、超電導体層103上に形成されたルテニウム酸ストロンチウムからなる下電極60と、下電極60上にエピタキシャル成長された単結晶である圧電体層70とを有する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
ノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備する液体噴射ヘッドにおいて、
前記流路形成基板の一方面側に形成された酸化ジルコニウム層と、該酸化ジルコニウム層上に形成された酸化セリウム層と、該酸化セリウム層上に形成されたイットリウム-バリウム-銅-酸素系材料(YBCO)からなる超電導体層と、該超電導体層上に形成されたルテニウム酸ストロンチウムからなる下電極と、該下電極上に形成された圧電体層とを有することを特徴とする液体噴射ヘッド。
IPC (2件)：
FI (1件)：
Fターム (9件)：
2C057AF21
, 2C057AG40
, 2C057AG42
, 2C057AG47
, 2C057AP32
, 2C057AP51
, 2C057AQ02
, 2C057BA03
, 2C057BA14
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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