特許
J-GLOBAL ID：200903002933871043

露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法

発明者：
柴崎 祐一

柴崎 祐一 について

, 
金谷 有歩

金谷 有歩 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-192660
公開番号（公開出願番号）：特開2009-032748
出願日： 2007年07月24日
公開日（公表日）： 2009年02月12日
要約：
【課題】複数のマーク検出系の特性を精度良く計測する。【解決手段】露光装置は、上面に一対のYスケール(グレーティング)39Y1,39Y2が配置されたウエハステージWSTと、X軸方向に関して位置が異なる複数のYヘッド67,68を有し、一対のYスケール39Y1,39Y2にそれぞれ対向するYヘッド68,67の計測値に基づいて、ウエハステージのY軸方向及びθz方向の位置を計測するエンコーダシステムと、X軸方向に関して検出領域の位置が異なる複数のアライメント系AL1、AL21〜AL24と、制御装置とを備えている。制御装置は、エンコーダシステムの計測結果に基づいて、ウエハステージWSTのY軸方向及びθz方向の位置を管理しつつ、ウエハステージをX軸方向へ移動させ、複数のアライメント系をそれぞれ用いてウエハステージに存在する少なくとも1つのマークを検出することで、複数のアライメント系の特性測定を行なう。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
エネルギビームにより物体を露光して前記物体上にパターンを形成する露光方法であって、 所定の平面内で物体を保持して移動する移動体上の一面に配置され、前記平面に平行な第1方向を周期方向とする格子を有する一対の第1グレーティングにそれぞれ対向する前記第2方向に関して位置が異なる複数の第1エンコーダヘッドの計測値に基づいて、前記移動体の前記第1方向及び前記平面内の回転方向の位置を管理しつつ、前記移動体を前記平面に平行で前記第1方向に直交する第2方向へ移動させ、前記第2方向に関して検出領域の位置が異なる複数のマーク検出系をそれぞれ用いて、前記移動体上に存在する少なくとも1つのマークを検出することで、前記複数のマーク検出系の特性測定を行なう特性測定工程を含む露光方法。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20
FI (3件)：
H01L21/30 503A ,  H01L21/30 515G ,  G03F7/20 521
Fターム (6件)：
5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC13 ,  5F046CC16
引用特許：
審査官引用 (5件)
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