特許
J-GLOBAL ID：200903003134083187

静電チャック及びその製造方法

発明者：
今井 康喜

今井 康喜 について

, 
鳥越 猛

鳥越 猛 について


出願人/特許権者：
日本碍子株式会社

日本碍子株式会社 について


代理人 (7件)： 中村 友之 ,  三好 秀和 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄 ,  鈴木 壯兵衞 ,  高久 浩一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-328494
公開番号（公開出願番号）：特開2005-093919
出願日： 2003年09月19日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：
【課題】製造コストが安価で、しかもアーキングの発生が抑制できる静電チャック及びその製造方法を提供する。【解決手段】板状のセラミックス誘電体基材と、セラミックス誘電体基材の一方の面に形成された膜状電極と、膜状電極の外周囲に配置された、上記セラミックス誘電体基材と一体の、もしくは別体の無機部材と、上記セラミックス誘電体基材の一方の面と接着剤層を介して接合された支持基材とを有する静電チャックである。板状のセラミックス誘電体基材を準備する工程と、セラミックス誘電体基材の一方の面に基板形状に応じた底面形状を有する溝を加工する工程と、溝の底面上に膜状電極を形成する工程と、接着剤層を介して上記一方の面と支持基材とを接着する工程とを有する静電チャックの製造方法である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
板状のセラミックス誘電体基材と、 前記セラミックス誘電体基材の一方の面に形成された膜状電極と、 前記膜状電極の外周囲に配置された、前記セラミックス誘電体基材と一体の、もしくは別体の無機部材と、 前記セラミックス誘電体基材の前記一方の面と、絶縁性の接着剤層を介して接合された支持基材とを有することを特徴とする静電チャック。
IPC (1件)：
H01L21/68
FI (1件)：
H01L21/68 R
Fターム (9件)：
5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA16 ,  5F031HA17 ,  5F031HA18 ,  5F031HA38 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 静電チャック
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-362272   出願人：太平洋セメント株式会社
  • 静電吸着装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-170491   出願人：日本碍子株式会社
審査官引用 (8件)
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