量子井戸型赤外線センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：眞鍋潔 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-180992
公開番号（公開出願番号）：特開2001-358358
出願日： 2000年06月16日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：

【要約】【課題】量子井戸型赤外線光センサに関し、ドライエッチング工程における加工制御性を改善する。【解決手段】多重量子井戸層1を構成する井戸層2として、GaAsN、或いは、GaAsとの格子定数の差が0.1%以下のGaAsNSbを用いる。

請求項（抜粋）：

多重量子井戸層を構成する井戸層として、GaAsNSbを用いたことを特徴とする量子井戸型赤外線センサ。

IPC (3件)：

H01L 31/10 , H01L 27/14 , H01L 29/06

FI (3件)：

H01L 29/06 , H01L 31/10 A , H01L 27/14 K

Fターム (21件)：

4M118AA10 , 4M118AB10 , 4M118BA06 , 4M118CA17 , 4M118CA32 , 4M118CB01 , 4M118EA01 , 4M118GA02 , 4M118GA10 , 4M118GD15 , 4M118HA31 , 5F049MA01 , 5F049MB07 , 5F049NA01 , 5F049NA10 , 5F049NB05 , 5F049PA04 , 5F049QA06 , 5F049QA16 , 5F049RA04 , 5F049WA01

引用特許：

審査官引用 (7件)

赤外線センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-051221 出願人：富士通株式会社
光電子集積回路素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-016270 出願人：古河電気工業株式会社
太陽電池及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-167496 出願人：株式会社日立製作所

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