特許
J-GLOBAL ID：200903003165852790

基板処理装置および基板処理方法

発明者：
西村 讓一

西村 讓一 について

, 
大谷 正美

大谷 正美 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-410693
公開番号（公開出願番号）：特開2005-175083
出願日： 2003年12月09日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：
【課題】 基板搬送手段と障害物との衝突を防止することが可能な基板処理装置および基板処理方法を提供する。【解決手段】 アーム部11の後端から前上方に延びるカメラ固定具14にカメラ10が固定されている。カメラ10は、基板Wの搬入出時には、アーム112の伸長方向を静止画像として撮影する。予め記録されているホットプレート部HP1の正常な静止画像とカメラ10の撮影する静止画像とが一致すれば、基板搬送ロボットTRは基板Wの搬入出を行う。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
基板処理部と、 基板を搬送する基板搬送手段と、 前記基板搬送手段の動作を制御する制御手段とを備え、 前記基板搬送手段は、前記基板処理部に向かう方向の障害物を検知する障害物検知手段を備え、 前記制御手段は、前記障害物検知手段による検知結果に基づいて前記基板搬送手段の動作を制御することを特徴とする基板処理装置。
IPC (1件)：
H01L21/68
FI (1件)：
H01L21/68 A
Fターム (26件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA04 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031HA08 ,  5F031HA33 ,  5F031JA04 ,  5F031JA06 ,  5F031JA07 ,  5F031JA22 ,  5F031JA51 ,  5F031MA02 ,  5F031MA13 ,  5F031MA27 ,  5F031MA30 ,  5F031NA02 ,  5F031NA09 ,  5F031PA02 ,  5F031PA08
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-134808   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
審査官引用 (6件)
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