剪断型圧電素子を用いたアクチュエータ及びこのアクチュエータを使用したヘッド微小移動機構

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：石田敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-100347
公開番号（公開出願番号）：特開平10-293979
出願日： 1997年04月17日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：

【要約】【課題】構成が簡単、かつ寸法精度が不要であると共に、位置決め精度の高い安価なアクチュエータを提供する。【解決手段】固定端21側に所定間隔を隔てて所定形状の2つの電極22,23を並べて設け、これら2つの電極22,23の上側に所定の肉厚を備えた剪断型圧電素子24を積層し、この剪断型圧電素子24の電極22,23に対向する自由端側の面の全面には対向電極25を設けてアクチュエータ20を構成する。2つの電極22,23間に通電すれば、剪断型圧電素子の分極方向に応じて対向電極25がその面内で変位するので、この対向電極25がアクチュエータの動作部となる。

請求項（抜粋）：

剪断型圧電素子を用いたアクチュエータであって、固定端側に並んで設けられた2つの電極と、これら2つの電極の上側に積層された、剪断型圧電素子、及び、この剪断型圧電素子の前記2つの電極に対向する自由端側の面に設けられた対向電極とから構成され、前記2つの電極間に通電することによって、前記剪断型圧電素子の分極方向に応じて前記対向電極の面内方向に変位することを特徴とするアクチュエータ。

引用特許：

出願人引用 (11件)

特開平2-151277
走査トンネル顕微鏡の探針移動装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-180472 出願人：日本電子株式会社
加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-043875 出願人：富士通株式会社

全件表示

審査官引用 (11件)

特開平2-151277
走査トンネル顕微鏡の探針移動装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-180472 出願人：日本電子株式会社
加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-043875 出願人：富士通株式会社

全件表示

前のページに戻る