加速度センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：松井伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-295943
公開番号（公開出願番号）：特開平8-136573
出願日： 1994年11月07日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：

【要約】【目的】シンプルな構造で、リード線等を用いることなく加速度センサに設けた電極からプリント配線板の上の回路パターンに面実装可能な加速度センサを提供すること【構成】板状の圧電素子11の上に板状のおもり12を積層配置する。圧電素子の内部に、上下面に平行でかつ互いに向かい合う方向の分極Pを形成するとともに、圧電素子の上面全面に共通電極14を形成する。また、圧電素子の下面所定位置、すなわち異なる方向の分極の各領域にそれぞれ第1,第2電極15a,15bを形成する。すると、加速度が加わると、第1電極と共通電極間及び第2電極と共通電極間に極性が逆の出力電圧が発生するため、第1,第2電極間には加算された大きな電圧が発生する。よって、第1,第2電極をプリント配線板17の回路パターン18a,18b接続し、面実装可能となる。

請求項（抜粋）：

板状の圧電素子と、前記圧電素子の上に重ねて設けられる板状のおもりとを備えた加速度センサにおいて、前記圧電素子の内部に、上下面に平行でかつ互いに向かい合う、または反発し合う方向の分極を形成するとともに、前記圧電素子の前記おもりと対向する上面に、前記異なる方向の分極の両側に重なるようにして共通電極を形成し、かつ前記圧電素子の下面所定位置に、前記異なる方向の分極の各領域にそれぞれ第1,第2電極を形成し、前記第1,第2電極間に発生する出力電圧を取り出し可能とした加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/09 , H01L 29/84

引用特許：

審査官引用 (9件)

加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-012594 出願人：株式会社村田製作所
加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-215211 出願人：株式会社村田製作所
加速度検出素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-283635 出願人：株式会社村田製作所

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