冷却装置及び方法、当該冷却装置を有する露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤元亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-284379
公開番号（公開出願番号）：特開2004-080025
出願日： 2003年07月31日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：

【課題】結像性能の劣化となる光学部材の熱膨張による変形を低減することで所望の光学性能をもたらす冷却装置及び方法、当該冷却装置を有する露光装置を提供する。【解決手段】真空雰囲気下に置かれた光学部材を冷却する冷却装置であって、前記光学部材と非接触で配置され、前記光学部材に対して輻射により当該光学部材を冷却する輻射冷却部と、前記輻射冷却部の温度を制御する制御部とを有することを特徴とする冷却装置を提供する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

真空雰囲気下に置かれた光学部材を冷却する冷却装置であって、前記光学部材と非接触で配置され、前記光学部材に対して輻射により当該光学部材を冷却する輻射冷却部と、前記輻射冷却部の温度を制御する制御部とを有することを特徴とする冷却装置。

IPC (2件)：

H01L21/027 , G03F7/20

FI (5件)：

H01L21/30 531A , G03F7/20 503 , G03F7/20 521 , H01L21/30 515D , H01L21/30 517

Fターム (4件)：

5F046BA05 , 5F046CB03 , 5F046GA03 , 5F046GB01

引用特許：

審査官引用 (8件)

ミラー冷却装置及び露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-194613 出願人：株式会社ニコン
温調装置及び走査型露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-267824 出願人：株式会社ニコン
光学素子冷却装置、光学素子冷却方法及び露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-184512 出願人：株式会社ニコン

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