特許
J-GLOBAL ID：200903060757123639

ミラー冷却装置及び露光装置

発明者：
押野 哲也

押野 哲也 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-194613
公開番号（公開出願番号）：特開2004-039851
出願日： 2002年07月03日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：
【課題】冷却装置を光学素子に接触させて冷却する方法が考えられるが、接触により光学素子に力が加わり、ミラーが変形したり、冷却装置の振動がミラーに伝わることにより露光性能に影響を及ぼす可能性がある。【解決手段】ミラーを冷却するための電子冷却素子と、ミラーと電子冷却素子との間に配置されたバネ状部材と、電子冷却素子から排出される熱を伝播させる伝熱素子と、伝熱素子を冷却する冷却機構と、を有するミラー冷却装置。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
真空中で使用されるミラーの冷却装置であって、 前記ミラーを冷却するための電子冷却素子と、 前記ミラーと前記電子冷却素子との間に配置されたバネ状部材と、 前記電子冷却素子から排出される熱を伝播させる伝熱素子と、 前記伝熱素子を冷却する冷却機構と、 を有することを特徴とするミラー冷却装置。
IPC (3件)：
H01L21/027 ,  G02B5/08 ,  G03F7/20
FI (6件)：
H01L21/30 517 ,  G02B5/08 F ,  G03F7/20 502 ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 531A ,  H01L21/30 515D
Fターム (23件)：
2H042AA02 ,  2H042AA20 ,  2H042AA25 ,  2H042DA08 ,  2H042DB13 ,  2H042DD05 ,  2H042DE04 ,  2H097CA13 ,  2H097LA10 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CA04 ,  5F046CA08 ,  5F046CB02 ,  5F046CB03 ,  5F046CB17 ,  5F046CB25 ,  5F046DA13 ,  5F046DA26 ,  5F046DA27 ,  5F046GB01 ,  5F046GC03 ,  5F046GD10
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (12件)
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