X線分析方法、X線分析装置及びコンピュータプログラム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：河野登夫 , 河野英仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-435523
公開番号（公開出願番号）：特開2005-195364
出願日： 2003年12月26日
公開日（公表日）： 2005年07月21日
要約：

【課題】被覆材で物体を被覆してなる試料の前記被覆材の定量分析を行う際、前記物体の散乱X線成分の影響を取除いて正確な前記被覆材の定量分析を行うことができるX線分析方法、X線分析装置及びコンピュータプログラムを提供する。【解決手段】被覆材で物体を被覆してなる試料にX線を照射し、照射により発生した蛍光X線強度及び散乱X線強度を計測し、前記物体の蛍光X線強度と試料厚さとの対応関係、及び、前記物体の散乱X線強度と試料厚さとの対応関係に基づいて、前記物体の蛍光X線強度の計測値に対応する試料厚さを決定し、決定した試料厚さに対応する前記物体の散乱X線強度を決定し、決定した前記物体の散乱X線強度及び計測した散乱X線強度に基づいて前記被覆材の散乱X線強度を算出し、算出した前記被覆材の散乱X線強度を用いて前記被覆材の蛍光X線強度の計測値を補正し、補正した蛍光X線強度の計測値を用いて前記被覆材の定量分析を行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被覆材で物体を被覆してなる被照射体にX線を照射し、照射により発生した蛍光X線強度及び散乱X線強度を計測し、散乱X線強度を用いて蛍光X線強度を補正し、補正した蛍光X線強度を用いて前記被覆材の定量分析を行うX線分析方法において、前記物体の蛍光X線強度と被照射体厚さとの対応関係、及び、前記物体の散乱X線強度と被照射体厚さとの対応関係に基づいて、前記物体の蛍光X線強度の計測値に対応する被照射体厚さを決定し、決定した被照射体厚さに対応する前記物体の散乱X線強度を決定するステップと、決定した前記物体の散乱X線強度及び計測した散乱X線強度に基づいて、前記被覆材の散乱X線強度を算出するステップとを有し、算出した前記被覆材の散乱X線強度を用いて前記被覆材の蛍光X線強度の計測値を補正し、補正した蛍光X線強度の計測値を用いて前記被覆材の定量分析を行うことを特徴とするX線分析方法。

IPC (1件)：

G01N23/223

FI (1件)：

G01N23/223

Fターム (23件)：

2G001AA01 , 2G001AA07 , 2G001BA04 , 2G001BA14 , 2G001BA30 , 2G001CA01 , 2G001DA01 , 2G001EA03 , 2G001FA01 , 2G001FA06 , 2G001FA08 , 2G001HA09 , 2G001KA01 , 2G001KA11 , 2G001LA05 , 2G001MA06 , 2G001NA10 , 2G001NA11 , 2G001NA12 , 2G001NA13 , 2G001NA17 , 2G001PA07 , 2G001SA02

引用特許：

出願人引用 (1件)

電着塗料中のフッ素樹脂濃度の測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-012122 出願人：東亞合成株式会社

審査官引用 (6件)

特開昭54-157652
特開昭64-041810
多層塗装膜の付着量測定方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-270044 出願人：理学電機工業株式会社, イゲタ鋼板株式会社, 川鉄鋼板株式会社, 大洋製鋼株式会社, 株式会社淀川製鋼所

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