特許
J-GLOBAL ID:200903003296642147

空気清浄化装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 武田 賢市 ,  武田 明広
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-086329
公開番号(公開出願番号):特開2005-273986
出願日: 2004年03月24日
公開日(公表日): 2005年10月06日
要約:
【課題】 ケミカルフィルタを使用せずに、処理空気から気体状汚染物質を連続的に除去できるとともに、吸着材ユニットの連続的な再生を行うことができ、しかも、大容量のクリーンルームのほか、小容量のクリーンルーム(ミニエンバイロメントや半導体の製造装置等)にも適用することができる空気清浄化装置を提供する。【解決手段】 2系統の空気の入出力を切り替えることができるように構成された第1バルブ3及び第2バルブ4と、それらの間に並列して接続された第1系列ダクト7及び第2系列ダクト8と、気体状汚染物質を吸着する吸着材ユニット11〜14と、再生空気を送出して、吸着材ユニット11〜14の吸着能力を再生させる再生手段とを有していることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
処理空気から気体状汚染物質を吸着して除去する吸着式の空気清浄化装置において、 それぞれ処理空気と再生空気の2系統の空気の入出力を切り替えることができるように構成された第1バルブ及び第2バルブと、 前記第1バルブと第2バルブとの間に並列して接続された第1系列ダクト及び第2系列ダクトと、 前記第1系列ダクト及び第2系列ダクト上にそれぞれ配置され、気体状汚染物質を吸着して除去する吸着材ユニットと、 前記第1系列ダクト又は第2系列ダクトに再生空気を送出して、前記吸着材ユニットの吸着能力を再生させる再生手段と、 を有していることを特徴とする空気清浄化装置。
IPC (5件):
F24F3/16 ,  A61L9/01 ,  A61L9/16 ,  B01D53/04 ,  F24F7/06
FI (5件):
F24F3/16 ,  A61L9/01 B ,  A61L9/16 D ,  B01D53/04 G ,  F24F7/06 C
Fターム (25件):
3L053BD04 ,  3L058BE02 ,  3L058BF09 ,  3L058BG03 ,  3L058BG05 ,  4C080AA05 ,  4C080BB01 ,  4C080HH05 ,  4C080JJ01 ,  4C080KK08 ,  4C080LL02 ,  4C080MM01 ,  4C080MM02 ,  4C080MM04 ,  4C080MM05 ,  4C080MM06 ,  4C080QQ01 ,  4C080QQ17 ,  4D012CA10 ,  4D012CD01 ,  4D012CE01 ,  4D012CE03 ,  4D012CF02 ,  4D012CJ01 ,  4D012CJ02
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • クリーンルーム
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平11-322902   出願人:ダイキン工業株式会社
審査官引用 (6件)
  • 空調システム
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-153410   出願人:株式会社荏原製作所
  • クリーンルーム
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平11-322902   出願人:ダイキン工業株式会社
  • ガス処理装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2002-036995   出願人:ダイキン工業株式会社
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