特許
J-GLOBAL ID：200903003404588200

クランプ機構及び処理装置

発明者：
田中 雅之

田中 雅之 について

, 
田中 澄

田中 澄 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-132021
公開番号（公開出願番号）：特開2003-332408
出願日： 2002年05月07日
公開日（公表日）： 2003年11月21日
要約：
【要約】【課題】 クランプリング部材の位置のバラツキを抑制することが可能なクランプ機構を提供する。【解決手段】 処理容器32内の載置台38上に載置された被処理体Wをクランプするクランプ機構において、昇降ロッドの先端に円弧状、或いはリング状に延びる保持板を形成し、保持板に弾性的に出没可能に少なくとも3本のシャフト部材を設け、この3本のシャフト部材に対応させて少なくとも3つの取付孔が形成され、シャフト部材の先端部にクランプリング部材を設け、少なくとも3つのシャフト部材92A〜92Cの内の1つのシャフト部材に対応する取付孔は、小穴126Aとして形成され、他のいずれかの取付孔は小穴に向けて所定の長さを有する長穴126Bとして形成され、残りの取付孔は、その内径が大きい大穴126Cとして形成する。これにより、クランプリング部材の位置のバラツキを抑制する。
請求項（抜粋）：
処理容器内の載置台上に載置された被処理体をクランプするためのクランプ機構において、昇降可能になされた昇降ロッドと、前記昇降ロッドの先端に片持ち支持されて前記載置台の円周方向に沿って円弧状、或いはリング状に延びる保持板と、前記保持板に、その長さ方向に沿って配置されて弾性部材により上下方向へ弾性的に出没可能に設けられた少なくとも3本のシャフト部材と、リング状に成形されると共に前記少なくとも3本のシャフト部材に対応させて少なくとも3つの取付孔が形成され、前記取付孔に前記シャフト部材の先端部をそれぞれ挿通させて係合されると共に、前記被処理体の周縁部と接触して前記被処理体をクランプするクランプリング部材とを備え、前記少なくとも3つの取付孔の内の1つは、その内径が小さい小穴として形成され、前記他の少なくとも2つの取付孔の内のいずれかの取付孔は前記小穴に向けて所定の長さを有する長穴として形成され、前記残りの取付孔は、その内径が大きい大穴として形成されることを特徴とするクランプ機構。
Fターム (19件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA24 ,  5F031HA28 ,  5F031HA30 ,  5F031HA33 ,  5F031HA37 ,  5F031HA58 ,  5F031MA28 ,  5F031MA30 ,  5F031MA32 ,  5F031NA01 ,  5F031NA04 ,  5F031NA05 ,  5F031NA09 ,  5F031PA11 ,  5F031PA26 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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