イオン注入装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-353471
公開番号（公開出願番号）：特開平10-172501
出願日： 1996年12月16日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】ビーム電流計測系の異常を速やかに検出する。【解決手段】ホルダ18に保持された基板20に対するイオン注入中のビーム電流Iを計測する、ビーム電流計測器26等から成るビーム電流計測系の他に、ファラデー装置30、第2ビーム電流計測器40、記憶装置42、演算回路44および比較回路46を設けた。ファラデー装置30は、偏向手段を兼ねるX走査電極6によって待機方向Bに向けられたイオンビーム2を受ける。第2ビーム電流計測器40は、ファラデー装置30に流れるビーム電流を計測する。記憶装置42は、第2ビーム電流計測器40で計測したイオン注入前のビーム電流I0 を記憶する。演算回路44は、記憶装置42に記憶したイオン注入前のビーム電流I0 と、イオン注入中にビーム電流計測器26で計測するビーム電流Iとの比率Kを求める。比較回路46は、演算回路44で求めた比率Kが基準範囲R外になったときに警報信号Sを出力する。これによって、ビーム電流計測系の異常を注入中に速やかに検出することができる。

請求項（抜粋）：

イオン注入すべき基板保持用のホルダと、イオン注入中にこのホルダに流れるビーム電流を計測するビーム電流計測器と、イオンビームを、イオン注入時は前記ホルダ上の基板に入射する注入方向に向け、イオン注入の前および後は同基板に入射しない待機方向に向ける偏向手段とを備えるイオン注入装置において、前記待機方向に向けられたイオンビームを受けるファラデー装置と、このファラデー装置に流れるビーム電流を計測する第2ビーム電流計測器と、この第2ビーム電流計測器で計測したイオン注入前のビーム電流を記憶する記憶装置と、この記憶装置に記憶したイオン注入前のビーム電流とイオン注入中に前記ビーム電流計測器で計測するビーム電流との比率を求める演算回路と、この演算回路で求めた比率を予め設定された基準範囲と比較して、当該比率が基準範囲外になったときに警報信号を出力する比較回路とを備えることを特徴とするイオン注入装置。

IPC (2件)：

H01J 37/317 , H01L 21/265

FI (2件)：

H01J 37/317 C , H01L 21/265 T

引用特許：

審査官引用 (6件)

イオン注入装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-287734 出願人：日本電気株式会社
特開平4-282546
イオン注入装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-294417 出願人：山形日本電気株式会社

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