特許
J-GLOBAL ID:200903003512734540
高分解能顕微鏡、及び位相緩和時間測定法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
杉村 興作 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-318121
公開番号(公開出願番号):特開2003-121334
出願日: 2001年10月16日
公開日(公表日): 2003年04月23日
要約:
【要約】【課題】 試料の非線形光学応答を高空間分解能及び高時間分解能で観測することのできる高分解能顕微鏡を提供する。【解決手段】 インコヒーレント光を発生させるインコヒーレント光源1と、前記インコヒーレント光を2つに分割するためのビームスプリッター7と、分割された一方のインコヒーレント光Aを時間的に遅延させるための光遅延回路20と、分割された他方のインコヒーレント光Bの光路長を周期的に変化させて、インコヒーレント光Bの遅延時間を制御するための光路長制御手段10と、インコヒーレント光A及びインコヒーレント光Bを重畳させて得たインコヒーレント重畳光を、近接場を介して測定すべき試料に照射するための光プローブ30とを具える。
請求項(抜粋):
インコヒーレント光を発生させるインコヒーレント光源と、前記インコヒーレント光を2つに分割するためのビームスプリッターと、分割された一方のインコヒーレント光を時間的に遅延させるための光遅延回路と、分割された他方のインコヒーレント光の光路長を周期的に変化させて、前記他方のインコヒーレント光の遅延時間を制御するための光路長制御手段と、前記分割された一方のインコヒーレント光及び前記分割された他方のインコヒーレント光を重畳させて得たインコヒーレント重畳光を、近接場を介して測定すべき試料に照射するための光プローブと、を具えることを特徴とする、高分解能顕微鏡。
IPC (3件):
G01N 13/14
, G02B 26/06
, G02F 1/35
FI (3件):
G01N 13/14 B
, G02B 26/06
, G02F 1/35
Fターム (9件):
2H041AA23
, 2H041AB14
, 2H041AC08
, 2H041AZ02
, 2H041AZ05
, 2K002AA04
, 2K002AB14
, 2K002BA02
, 2K002HA13
引用特許:
審査官引用 (10件)
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走査型近接場光学顕微鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-228540
出願人:株式会社ニコン
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光学応答測定器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-211612
出願人:日本電信電話株式会社
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特開平2-252123
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特開平4-132020
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光学応答速度測定器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-240270
出願人:日本電信電話株式会社
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光エコー顕微鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-284701
出願人:株式会社ニコン
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光学的検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-123778
出願人:株式会社ニコン
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走査型近視野原子間力顕微鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-276708
出願人:セイコー電子工業株式会社
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光学的検査方法および光学的検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-152382
出願人:株式会社ニコン
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走査干渉計近視野共焦点顕微鏡
公報種別:公表公報
出願番号:特願2001-514618
出願人:ゼテティック・インスティチュート
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引用文献: