特許
J-GLOBAL ID:200903003587327150

透明面温度センサ及び透明面温度制御装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 吉川 晃司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-265386
公開番号(公開出願番号):特開2002-243555
出願日: 2001年09月03日
公開日(公表日): 2002年08月28日
要約:
【要約】【課題】従来の顕微鏡用加温装置は、温度センサとしての熱電対の測温接点が発熱用透明板の端部に配置されていたため、透明プレート部を所望の温度に保つのが困難であった。【解決手段】透明面温度センサ3が、感温用透明絶縁性基板7と、その一面に形成された感温用透明導電膜9と、一対の感温用端子11,11と、それらに接続された一対の感温用導電線13、13とを備えている。導電線13、13は銅とコンスタンタンで構成されている。そして、透明面ヒータ5と絶縁シート25及びシリコーン樹脂を介して電気的に絶縁状態で固着され、ハウジング27内に収容されている。測温部が感温用透明導電膜上の1点ではなく、全面となる。従って、透明面温度センサ3により、感温用透明導電膜9全体の平均温度が検出されることになる。
請求項(抜粋):
感温用透明絶縁性基板と、前記感温用透明絶縁性基板の少なくともいずれか一方の面上の少なくとも一部に形成された感温用透明導電膜と、互いに所定距離離間され且つ前記感温用透明導電膜に電気的に結合された一対の感温用端子と、前記一対の感温用端子に各々の導電線の一端部が電気的に接続された一対の感温用導電線を備え、前記感温用透明導電膜の温度変化に伴う前記感温用導電線を流れる電流又は電圧の変化に基づいて、温度を測定することを特徴とする透明面温度センサ。
IPC (3件):
G01K 7/02 ,  G01K 7/16 ,  G02B 21/30
FI (3件):
G01K 7/02 A ,  G01K 7/16 B ,  G02B 21/30
Fターム (2件):
2F056WA01 ,  2H052AD24
引用特許:
出願人引用 (3件)

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