特許
J-GLOBAL ID：200903003653695343
液晶表示装置及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-348776
公開番号（公開出願番号）：特開平10-213809
出願日： 1997年12月18日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 マスク工程を減らし、歩留まりや生産性を高める。【解決手段】 透明ガラス基板111上にアルミニウム又はアルミニウム合金を蒸着してゲートバス配線113を形成した後、クローム、モリブデン、タンタル、又はアンチモンのような金属を基板全面に蒸着し、第2マスクを用いてパターニングしてゲート電極117及びゲートバス配線の端部に連結されるゲートパット115を形成し、アルミニウム上のヒロックを除去するためにゲートバス配線を完全に覆うクローム、モリブデン、タンタル又はアンチモンのような金属で第2ゲートバス配線113aを形成する。ゲート電極及びゲートバス配線を陽極酸化する必要がないため、短絡配線を形成する必要はない。液晶表示装置の製造方法は、陽極酸化工程を省略して6回のマスク段階まで減らすことができ、短絡配線の形成及び短絡配線を断線する工程が必要なくなる。
請求項（抜粋）：
基板上に第1ゲートバス配線を形成する段階と、前記第1ゲートバス配線上に第2ゲートバス配線を形成する段階と、前記基板上にゲート絶縁層、半導体層及び不純物半導体層を形成する段階と、前記不純物半導体層上にソース電極及びドレイン電極を形成する段階と、前記ソース電極及び前記ドレイン電極を覆う保護層を形成する段階と、前記ドレイン電極を露出させるためのドレインコンタクトホールを形成する段階と、前記ドレインコンタクトホールを通して前記ドレイン電極に連結される画素電極を形成する段階から構成されることを特徴とする、液晶表示装置の製造方法。
IPC (5件)：
G02F 1/1343
, G02F 1/136 500
, G09F 9/35 302
, G09F 9/35 307
, H01L 29/786
G02F 1/1343
, G02F 1/136 500
, G09F 9/35 302
, G09F 9/35 307
, H01L 29/78 612 C
