特許

J-GLOBAL ID：200903003747439154

酸化イットリウム質部材

発明者： 大滝 浩通 ,  岸 幸男
出願人/特許権者： 株式会社日本セラテック ,  太平洋セメント株式会社
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-248463
公開番号（公開出願番号）：特開2003-055050
出願日： 2001年08月20日
公開日（公表日）： 2003年02月26日
要約：

【要約】【課題】 表面に付着した反応生成物を洗浄工程で十分に除去可能な酸化イットリウム質部材を提供すること。【解決手段】 少なくともプラズマ雰囲気に曝される部位が、金属微量成分量が質量基準で、Si:400ppm以下、Al:200ppm以下であり、平均粒径が200μm以下、気孔率が5%以下である酸化イットリウムで構成される。

請求項（抜粋）：

少なくともプラズマ雰囲気に曝される部位が、金属微量成分量が質量基準で、Si:400ppm以下、Al:200ppm以下であり、平均粒径が200μm以下、気孔率が5%以下である酸化イットリウムで構成されることを特徴とする酸化イットリウム質部材。

IPC (3件)：

C04B 35/50 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/46

FI (3件)：

C04B 35/50 ,  H05H 1/46 A ,  H01L 21/302 B

Fターム (5件)：

5F004AA15 ,  5F004AA16 ,  5F004BB29 ,  5F004DA01 ,  5F004DA26

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 半導体素子製造装置用部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-015832   出願人：京セラ株式会社
• プラズマ耐食性に優れたアルミナセラミックス材料およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-115241   出願人：住友金属工業株式会社
• 耐食性セラミック部材およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-371690   出願人：京セラ株式会社
• 耐食性部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-201566   出願人：京セラ株式会社