特許
J-GLOBAL ID：200903003777143128

超狭帯域化レーザ装置及び狭帯域化レーザ装置

発明者：
武久 究

武久 究 について


出願人/特許権者：
株式会社小松製作所

株式会社小松製作所 について


代理人 (1件)： 木村 高久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-033819
公開番号（公開出願番号）：特開2001-223422
出願日： 2000年02月10日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
要約：
【要約】【課題】 レーザ発振されたフッ素レーザのレーザ光を効率よく超狭帯域化すると共に、該超狭帯域化されたレーザ光の中心波長の安定化を図ることのできる超狭帯域化レーザ装置を提供する。【解決手段】 エタロン5は、フッ素ドープの合成石英から成る厚さ約5mmのウエッジ板で形成された基板6a、6bを有している。フッ素ドープの合成石英では、波長157.6nmにおける透過率が1cm当たり約90%と高いため、エタロン5の挿入による挿入損失は約10%と小さく、ゲインの高いフッ素レーザは十分レーザ発振する。したがって、エタロン5によって、シングルライン化されたレーザ光について、そのスペクトルの中心波長の変動を抑制することができ、しかも超狭帯域化することができる。
請求項（抜粋）：
出力鏡と全反射鏡とで構成される光共振器中に配置されフッ素レーザをレーザ発振するレーザチャンバと、該レーザチャンバからレーザ発振され前記光共振器間で共振するレーザ光における特定の波長を有するレーザ光のみを狭帯域化する狭帯域化素子とを有する超狭帯域化レーザ装置において、前記狭帯域化素子は、フッ素ドープの石英で形成された基板を有するエタロンであることを特徴とする超狭帯域化レーザ装置。
IPC (2件)：
H01S 3/137 ,  H01S 3/223
FI (2件)：
H01S 3/137 ,  H01S 3/223 Z
Fターム (26件)：
5F071AA04 ,  5F071DD08 ,  5F071FF09 ,  5F071HH02 ,  5F071HH05 ,  5F071JJ02 ,  5F071JJ03 ,  5F071JJ05 ,  5F072AA04 ,  5F072FF09 ,  5F072HH02 ,  5F072HH05 ,  5F072JJ02 ,  5F072JJ03 ,  5F072JJ05 ,  5F072JJ13 ,  5F072KK01 ,  5F072KK03 ,  5F072KK08 ,  5F072KK09 ,  5F072KK18 ,  5F072KK26 ,  5F072KK30 ,  5F072RR05 ,  5F072SS01 ,  5F072YY09
引用特許：
審査官引用 (14件)
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