特許
J-GLOBAL ID:200903003885581484
TiO2を含有するシリカガラスおよびEUVリソグラフィ用光学部材
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-076312
公開番号(公開出願番号):特開2004-315351
出願日: 2004年03月17日
公開日(公表日): 2004年11月11日
要約:
【課題】面粗さの小さい基板として適当なTiO2-SiO2ガラスの提供。【解決手段】屈折率の変動幅(Δn)が、少なくとも一つの面内における30mm×30mmの範囲で2×10-4以下であること、または、TiO2濃度が1質量%以上であり、かつ脈理ピッチが10μm以下であることを特徴とするTiO2を含有するSiO2ガラス。TiO2を含有するシリカガラスからなり、屈折率の変動幅(Δn)が、光の入射方向に垂直な面において2×10-4以下であること、または、TiO2濃度が1質量%以上であるTiO2を含有するシリカガラスからなり、光の入射方向に垂直な面において、TiO2濃度の最大値と最小値との差が、0.06質量%以下である特徴とするEUVリソグラフィ用光学部材。【選択図】なし
請求項(抜粋):
屈折率の変動幅(Δn)が、少なくとも一つの面内における30mm×30mmの範囲で2×10-4以下であることを特徴とするTiO2を含有するシリカガラス。
IPC (3件):
C03C4/00
, C03B20/00
, C03C3/06
FI (3件):
C03C4/00
, C03B20/00 G
, C03C3/06
Fターム (58件):
4G014AH14
, 4G062AA04
, 4G062BB02
, 4G062CC07
, 4G062DA08
, 4G062DB01
, 4G062DC01
, 4G062DD01
, 4G062DE01
, 4G062DF01
, 4G062EA01
, 4G062EA10
, 4G062EB01
, 4G062EC01
, 4G062ED01
, 4G062EE01
, 4G062EF01
, 4G062EG01
, 4G062FA01
, 4G062FB03
, 4G062FB04
, 4G062FC01
, 4G062FD01
, 4G062FE01
, 4G062FF01
, 4G062FG01
, 4G062FH01
, 4G062FJ01
, 4G062FK01
, 4G062FL01
, 4G062GA01
, 4G062GA10
, 4G062GB01
, 4G062GC01
, 4G062GD01
, 4G062GE01
, 4G062HH01
, 4G062HH03
, 4G062HH05
, 4G062HH07
, 4G062HH09
, 4G062HH11
, 4G062HH13
, 4G062HH15
, 4G062HH17
, 4G062HH20
, 4G062JJ01
, 4G062JJ03
, 4G062JJ05
, 4G062JJ07
, 4G062JJ10
, 4G062KK01
, 4G062KK03
, 4G062KK05
, 4G062KK07
, 4G062KK10
, 4G062MM27
, 4G062NN30
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (9件)
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