超高真空状態で電子顕微鏡と走査トンネル顕微鏡とで同時に観察できる顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：田中宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-239139
公開番号（公開出願番号）：特開平11-067141
出願日： 1997年08月21日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】超高真空状態で電子顕微鏡と走査トンネル顕微鏡とで同時に観察できるように両顕微鏡を組み合わせることができる顕微鏡を提供する。【解決手段】観察ステージ3は、試料処理チャンバー5から搬送される試料ホルダー4、及び走査トンネル顕微鏡超高真空チャンバー1から走査トンネル顕微鏡ホルダー2を大体の観察位置に位置決め固定でき、その状態で電子顕微鏡による観察の電子線を試料ホルダーに保持した観察試料に照射し、試料からの電子線を取り出すことができる構造を備えており、走査トンネル顕微鏡用超高真空チャンバーと試料処理チャンバーは走査トンネル顕微鏡ホルダー及び試料ホルダーを観察ステージへ搬送固定し、観察ステージから脱離し超高真空電子顕微鏡チャンバー9から搬出する手段を備える。

請求項（抜粋）：

観察用ステージ3を備えた超高真空電子顕微鏡チャンバー9と、走査トンネル顕微鏡(STM)を納めた走査トンネル顕微鏡ホルダー2を備えた走査トンネル顕微鏡用超高真空チャンバー1と、観察試料を保持した試料ホルダー4を備えた試料処理チャンバー5とをそれぞれのチャンバーが独立に超高真空に排気できるように接続した超高真空状態で電子顕微鏡と走査トンネル顕微鏡とで同時に観察できる顕微鏡であって、該観察ステージ3は、前記試料処理チャンバー5から搬送される前記観察試料を保持した試料ホルダー4、及び前記走査トンネル顕微鏡用超高真空チャンバー1から搬送される走査トンネル顕微鏡(STM)を納めた走査トンネル顕微鏡ホルダー2を大体の観察位置に位置決め固定でき、且つ、その状態で電子顕微鏡による観察の電子線を前記試料ホルダーに保持した観察試料に照射し、前記試料からの電子線を取り出すことができる構造を備えており、前記走査トンネル顕微鏡用超高真空チャンバー1と試料処理チャンバー5はそれぞれ走査トンネル顕微鏡ホルダー2及び試料ホルダー4を前記観察ステージ3へ搬送固定し、また該観察ステージから脱離し該超高真空電子顕微鏡チャンバー9から搬出する手段を備えていることを特徴とする超高真空状態で電子顕微鏡と走査トンネル顕微鏡とで同時に観察できるように両顕微鏡を組み合わせることができる顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/28 , G01N 37/00

FI (3件)：

H01J 37/28 B , H01J 37/28 X , G01N 37/00 B

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開平2-134502
反射電子顕微鏡用試料ホルダ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-174009 出願人：富士通株式会社
特開平4-196043

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審査官引用 (8件)

特開平2-134502
反射電子顕微鏡用試料ホルダ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-174009 出願人：富士通株式会社
特開平4-196043

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