特許
J-GLOBAL ID：200903003995693849
放電検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 青山 正和
, 高柴 忠夫
, 上田 邦生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-078543
公開番号（公開出願番号）：特開2004-288849
出願日： 2003年03月20日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：
【課題】チャンバ内での放電を的確に検出することができる放電検出装置を提供すること。【解決手段】本発明の異常放電検出装置10Aは、チャンバ14の内部で発生する放電を検出する放電検出装置であって、チャンバ14に設けられた窓部12の近傍であって該チャンバ14の外部に配置され、前記窓部12の開口寸法に応じた受信特性を有する受信アンテナ18Aと、前記受信アンテナ18Aを介して電磁波を受信する受信装置20Aと、を備えている。チャンバ14内で発生した電磁波Eを窓部12を介して受信アンテナ18Aで捕らえることによって、異常放電の発生の有無を確実にモニタできる。このとき、受信アンテナ18Aの受信特性は、窓部12の開口寸法に応じて設定され、窓部12の遮断周波数以上に設定されている。これにより、窓部12を漏れ出る電磁波を的確に受信し、チャンバ内での放電の検出精度を向上させる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
チャンバの内部で発生する放電を検出する放電検出装置であって、
前記チャンバに設けられた窓部の近傍であって該チャンバの外部に配置され、前記窓部の開口寸法に応じた受信特性を有する受信アンテナと、
前記受信アンテナを介して電磁波を受信する受信装置と、
を備えたことを特徴とする放電検出装置。
IPC (3件)：
H01L21/3065
, G01R31/12
, H01L21/02
H01L21/302 103
, G01R31/12 A
, H01L21/02 Z
2G015AA06
, 2G015CA01
, 5F004AA16
, 5F004BA04
, 5F004CA09
, 5F004CB05
