特許
J-GLOBAL ID：200903035527158765

異常放電検出装置及び方法

発明者：
鈴木 功一

鈴木 功一 について

, 
佐藤 充男

佐藤 充男 について


出願人/特許権者：
ファブソリューション株式会社

ファブソリューション株式会社 について


代理人 (6件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  高柴 忠夫 ,  上田 邦生 ,  赤尾 謙一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-316548
公開番号（公開出願番号）：特開2004-150953
出願日： 2002年10月30日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：
【課題】異常放電の発生の有無を確実にモニタする。【解決手段】本発明の異常放電検出装置10は、ガラスからなる窓部12を有するチャンバ14内で発生する放電の異常を検出する装置であって、放電に伴う電磁波Eを窓部12を介して受信する受信アンテナ18と、受信アンテナ18で受信された電磁波Eを電気信号Sとして出力する検出手段としての検出器20とを備えている。チャンバ14内で発生した電磁波Eを窓部12を介して受信アンテナ18で捕らえることによって、異常放電の発生の有無を確実にモニタできる。このとき、検出に高周波電流を用いていないので、陽極24又は陰極26に発生した放電以外の、静電気などによる放電も確実に検出できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
絶縁体からなる窓部を有するチャンバ内で発生する放電の異常を検出する装置であって、 前記チャンバの内部以外の方向から到来する電磁波を遮断すると共に、前記放電に伴う電磁波を前記窓部を介して受信する受信アンテナと、 前記受信アンテナで受信された電磁波を電気信号として出力する検出手段と、 を備えた異常放電検出装置。
IPC (2件)：
G01R31/12 ,  H01L21/3065
FI (2件)：
G01R31/12 A ,  H01L21/302 101Z
Fターム (8件)：
2G015AA06 ,  2G015CA01 ,  5F004AA16 ,  5F004BA04 ,  5F004BB32 ,  5F004BD05 ,  5F004BD06 ,  5F004CB05
引用特許：
審査官引用 (5件)
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