特許
J-GLOBAL ID:200903004224386118
カンチレバー、バイオセンサ、及びプローブ顕微鏡
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (4件):
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-085569
公開番号(公開出願番号):特開2008-241619
出願日: 2007年03月28日
公開日(公表日): 2008年10月09日
要約:
【課題】重量検出感度を向上させるためのカンチレバーの形状を見い出す。検出対象物に関する物理量を検出することができるようにする。【解決手段】カンチレバー型バイオセンサは、台座12の先端にカンチレバー10の一端が支持されて取り付けられており、カンチレバー10の表面には、表面に開口し、かつ、カンチレバー10の厚さ方向に貫通する複数の貫通孔10Aを穿設されている。貫通孔10Aの開口部は、各々矩形状であり、粘性抵抗を小さくするために、複数の貫通孔10Aを穿設して、開口面積をできるだけ大きくしている。これにより、カンチレバー10を振動させるときに、カンチレバー10の複数の貫通孔10Aによって、分子の移動が滑らかになるため、大きな粘性抵抗が発生することを防ぎ、粘性抵抗が小さくなっている。従って、質量変化に対する周波数変化の変化量が大きくなっている。【選択図】図3
請求項(抜粋):
支持部を介して基板に支持された板状のカンチレバーであって、表面に開口し、かつ、前記カンチレバーの厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を穿設したカンチレバー。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N13/16 101G
, G01N13/10 111D
引用特許:
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