特許
J-GLOBAL ID：200903004434962332
マスク検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
岡田 守弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-360924
公開番号（公開出願番号）：特開2001-227932
出願日： 2000年11月28日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、透過型のマスクの検査を行うマスク検査装置に関し、マスクを透過する電子線を複数素子を複数ラインに並べた検出器を用いて検出すると共にマスクの移動に同期して当該検出器上で画像信号を転送し、電子ビームの波長が短いことによる高分解能を有効活用し、かつ検出器のライン方向の画素の同時検出とラインの直角方向に画像信号を同期転送して高分解能かつ高速にマスク検査を実現することを目的とする。【解決手段】 電子線を発生する電子銃と、電子銃により発生された電子線をマスクに照射するレンズと、マスクを透過した電子線を結像するレンズと、レンズにより結像された電子線の画像あるいは電子線の画像を光に変換した後の画像を検出する、ライン方向に複数の画素を並べ、かつ複数ラインを持ちラインと直角方向に画像信号を転送する検出器と、マスクを移動する移動手段と、移動手段によりマスクを移動させたときに、検出器上の画像信号を同期して転送制御する制御手段とを備えるように構成する。
請求項（抜粋）：
透過型のマスクの検査を行うマスク検査装置において、電子線を発生する電子銃と、上記電子銃により発生された電子線を上記マスクに照射するレンズと、上記マスクを透過した電子線を結像するレンズと、上記レンズにより結像された電子線の画像あるいは当該電子線の画像を光に変換した後の画像を検出する、ライン方向に複数の画素を並べ、かつ複数ラインを持ちラインと直角方向に画像信号を転送する検出器と、上記マスクを移動する移動手段と、上記移動手段により上記マスクを移動させたときに、上記検出器上の画像信号を同期して転送制御する制御手段とを備えたことを特徴とするマスク検査装置。
IPC (5件)：
G01B 15/00
, G01N 23/04
, G03F 1/16
, H01J 37/20
, H01L 21/027
G01B 15/00 B
, G01N 23/04
, G03F 1/16 F
, H01J 37/20 D
, H01L 21/30 502 P
