特許
J-GLOBAL ID：200903004481622620
曲率可変ミラー
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
三好 秀和 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-363405
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174593
出願日： 1999年12月21日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：
【要約】【課題】 高い周波数応答を有すると共にコストを低下させることのできる曲率可変ミラーを提供する。【解決手段】 アクチュエータ部51により押圧部材43を介してミラー19を押すことによりミラー19の反射面19Aの曲率を変化させる。この際に、アクチュエータ部51として磁歪素子63と電磁コイル65を用いているので、電磁コイル65の制御により磁歪素子63の伸縮を制御する。また、ミラー19は押圧部材43を介してアクチュエータ部51と接触しているので、ミラー19の交換の際には、ミラー19のみを取り外す。押圧部材43は中央部が厚く、外周部が薄いので、アクチュエータ部51により中央部を押した際に、外周部まで所望の変形を生じる。水路73に冷却水を供給することにより、電磁コイル65および押圧部材43が冷却され、ミラー19も間接的に冷却される。
請求項（抜粋）：
レーザ光を反射するミラーの反射面の曲率を変化させることのできる曲率可変ミラーであって、周囲を固定された前記ミラーの背面に接触してこのミラーを押す押圧部材と、この押圧部材を押すアクチュエータとを備え、このアクチュエータが磁場の変化により伸縮する磁歪素子と、この磁歪素子に磁場を与える電磁コイルを備えてなること、を特徴とする曲率可変ミラー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G21K 1/06 N
, B23K 26/06 Z
審査官引用 (5件)
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レーザ用曲率可変鏡及びその製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-102722
出願人：住友電気工業株式会社
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ミラ-装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-184759
出願人：日本鋼管株式会社
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特開平2-210302
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