照明装置及び露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-289388
公開番号（公開出願番号）：特開平8-148415
出願日： 1994年11月24日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【目的】従来よりも照明強度の高い照明装置、及び該照明装置を備えたスループットの高い露光装置を提供すること。【構成】少なくとも、所定の大きさの光源像または光源を形成する光源部であって、平行光束を供給する光源1と、複数の全反射鏡により構成され、かつ該光源からの平行光束を反射して複数の光源像を形成する全反射型オプティカルインテグレータ2とを有する光源部と、該複数の光源像からの光束を集光して被照明物5を照明する照明光学系4と、を備えた照明装置。

請求項（抜粋）：

少なくとも、所定の大きさの光源像または光源を形成する光源部であって、平行光束を供給する光源と、複数の全反射鏡により構成され、かつ該光源からの平行光束を反射して複数の光源像を形成する全反射型オプティカルインテグレータとを有する光源部と、該複数の光源像からの光束を集光して被照明物を照明する照明光学系と、を備えた照明装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20

FI (2件)：

H01L 21/30 531 S , H01L 21/30 531 A

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開昭56-027930
照明装置及びそれを有する露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-237654 出願人：株式会社ニコン
特開昭64-007619

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