特許
J-GLOBAL ID：200903004579882787
撮像システム及び撮像方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
大山 健次郎
, 小山 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-011588
公開番号（公開出願番号）：特開2006-201360
出願日： 2005年01月19日
公開日（公表日）： 2006年08月03日
要約：
【課題】 180°の方位角にわたるディスク状物体の端縁全体の像をモニタ上に同時に表示できる撮像システムを提供する。【解決手段】 本発明では、光ビームを発生する光源(1)、第1及び第2のビーム偏向装置(2,7)、光ビームを収束して試料に投射する対物レンズ(11)、及びリニァイメージセンサ(14)を有するコンフォーカル顕微鏡を用い、ウェハ端縁を3次元的に走査し、複数の角度方向からウェハ端縁を撮像する。信号処理回路(16)において、複数の角度から撮像した複数の画像を合成して画像表示装置(17)上に表示する。さらに、本発明では、ウェハ端縁を3次元的に走査しているので、奥行方向の高さ情報を利用してウェハ端縁の画像を3次元的に表示することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
互いに平行な第1及び第2の表面と、これら2つの表面の間に位置する端縁とを有するディスク状又は板状物体の端縁を撮像する撮像システムであって、
光ビームを放出する光源、光源から放出された光ビームを第1の方向に周期的に偏向する第1のビーム偏向装置、第1のビーム偏向装置から出射した光ビームを第1の方向と直交する第2の方向に偏向する第2のビーム偏向装置、第2のビーム偏向装置から出射した光ビームを走査スポットに集束して撮像すべきディスク状物体の端縁に向けて投射する対物レンズ、前記第1の方向と対応する方向に配列され複数の受光素子を有し、ディスク状物体からの反射光を第2のビーム偏向装置を介して受光するリニァイメージセンサ、及び、リニァイメージセンサからの出力信号を受け取りビデオ信号を形成する信号処理回路を具えるコンフォーカル顕微鏡と、
前記光ビームの走査スポットとディスク状物体との間の光軸方向の相対距離を変化させる手段と
前記信号処理回路から出力されるビデオ信号を用いて物体の端縁の像を表示する画像表示装置とを具え、
ディスク状物体の端縁をその周囲に沿って複数の角度方向から、走査スポットとディスク状物体の端縁との間の相対距離を変えながら端縁の像を撮像し、前記信号処理回路において、複数の角度で撮像した画像を合成して端縁全体の像を画像表示装置上に表示することを特徴とする撮像システム。
IPC (5件)：
G02B 21/00
, G01B 11/30
, G01N 21/84
, G01N 21/956
, H01L 21/66
G02B21/00
, G01B11/30 A
, G01N21/84 D
, G01N21/956 A
, H01L21/66 J
2F065AA24
, 2F065AA49
, 2F065AA52
, 2F065AA53
, 2F065AA61
, 2F065BB03
, 2F065CC19
, 2F065FF01
, 2F065FF04
, 2F065HH04
, 2F065JJ02
, 2F065JJ25
, 2F065LL10
, 2F065LL13
, 2F065LL36
, 2F065LL37
, 2F065MM03
, 2F065MM04
, 2F065MM16
, 2F065MM26
, 2F065QQ24
, 2F065SS02
, 2F065SS13
, 2G051AA51
, 2G051AB08
, 2G051BB09
, 2G051BB11
, 2G051BB20
, 2G051BC05
, 2G051CA03
, 2G051CC09
, 2G051CC11
, 2G051CC20
, 2G051CD03
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 2G051FA01
, 2H052AA08
, 2H052AC04
, 2H052AC15
, 2H052AD31
, 2H052AF02
, 2H052AF14
, 2H052AF21
, 2H052AF25
, 4M106AA01
, 4M106BA04
, 4M106CA38
, 4M106DB02
, 4M106DB04
, 4M106DB12
, 4M106DB18
, 4M106DJ21
, 4M106DJ23
