特許
J-GLOBAL ID：200903004681117785
光学的表面検査機構及び光学的表面検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮川 貞二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-261647
公開番号（公開出願番号）：特開2001-083098
出願日： 1999年09月16日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：
【要約】【課題】 傷の深さが把握できると共に、浅い傷やうねり状態の把握が可能な光学的表面検査機構及び表面検査装置を提供する。【解決手段】 被測定物6の表面状態を光学的に検査する光学的表面検査機構において;光源1からの光を略平行な光束にする光源光学系2と;光源光学系2で平行にされた光束を集光して光源1の像を結像する、複数のマイクロレンズ3a、3b・・が直線状に配列された一次元マイクロレンズアレイ3と;一次元マイクロレンズアレイ3により結像された光源の像を被測定物6に投射する対物光学系4と;前記光束を投射された被測定物6の表面から反射された光束を結像する第1の結像光学系10と;第1の結像光学系10による結像面あるいは該結像面近傍に、前記各マイクロレンズ3a、3b・・に対応して配置された、直線状に複数の画素が配列された一次元ラインセンサ12とを備える光学的表面検査機構。
請求項（抜粋）：
被測定物の表面状態を光学的に検査する光学的表面検査機構において;光源からの光を略平行な光束にする光源光学系と;該光源光学系で平行にされた光束を集光して前記光源の像を結像する、複数のマイクロレンズが直線状に配列された一次元マイクロレンズアレイと;前記一次元マイクロレンズアレイにより結像された光源の像を前記被測定物に投射する対物光学系と;前記光束を投射された被測定物の表面から反射された光束を結像する第1の結像光学系と;前記第1の結像光学系による結像面あるいは該結像面近傍に、前記各マイクロレンズに対応して、直線状に複数の画素が配列された一次元ラインセンサとを備える;光学的表面検査機構。
Fターム (11件)：
2G051AA51
, 2G051AA71
, 2G051AA90
, 2G051AB07
, 2G051AB20
, 2G051BA20
, 2G051BB09
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051DA07
, 2G051EA14
