特許
J-GLOBAL ID：200903004760382230
気相ダイヤモンド膜のコーティング方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小越 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-052027
公開番号（公開出願番号）：特開2007-230799
出願日： 2006年02月28日
公開日（公表日）： 2007年09月13日
要約：
【課題】3次元形状試料に対して、均一に気相合成ダイヤモンド膜を効率良くコーティングするための装置を提供する。【解決手段】熱フィラメント法による気相ダイヤモンド膜のコーティング方法において、コーティング装置の内部に、加熱用フィラメント1、加熱用フィラメント1の近傍に配置した被コーティング試料4及びフィラメント加熱用の上部電極と下部電極を配置し、コーティング装置本体に上部電極を固定すると共に、該上部電極にフィラメント1の上端部を固定し、フィラメント1の下端部を移動自在な下部電極に固定して、下部電極がフィラメント1により吊持された状態とし、下部電極の重量及びフィラメント1の自重によりフィラメント1を緊張させると共に、該緊張したフィラメント1を通電加熱し、かつダイヤモンド原料となるガスを供給して、ダイヤモンド膜を試料4に気相ダイヤモンド膜をコーティングする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
熱フィラメント法による気相ダイヤモンド膜のコーティング方法において、コーティング装置の内部に、加熱用フィラメント、該加熱用フィラメントの近傍に配置した被コーティング試料及びフィラメント加熱用の上部電極と下部電極を配置し、コーティング装置本体に上部電極を固定すると共に、該上部電極にフィラメントの上端部を固定し、フィラメントの下端部を移動自在な下部電極に固定して、下部電極がフィラメントにより吊持された状態とし、下部電極の重量及びフィラメントの自重によりフィラメントを緊張させると共に、該緊張したフィラメントを通電加熱し、かつダイヤモンド原料となるガスを供給して、ダイヤモンド膜を前記試料にコーティングする気相ダイヤモンド膜のコーティング方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (18件)：
4G077AA03
, 4G077BA03
, 4G077DB07
, 4G077DB21
, 4G077ED04
, 4G077ED06
, 4G077EG20
, 4G077HA13
, 4G077HA14
, 4G077TA04
, 4G077TB02
, 4G077TK13
, 4K030AA09
, 4K030BA28
, 4K030CA03
, 4K030FA17
, 4K030KA49
, 4K030LA21
