特許
J-GLOBAL ID：200903004815149409

ウエハのアライメント方法

発明者：
芦田 隆博

芦田 隆博 について

, 
田中 善二

田中 善二 について


出願人/特許権者：
株式会社タカトリ

株式会社タカトリ について


代理人 (1件)： 和田 昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-252127
公開番号（公開出願番号）：特開2006-073603
出願日： 2004年08月31日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：
【課題】 ウエハの外周部分にテープ類がはみ出していても、ウエハの外周のみを認識でき、精度のよいアライメントを行うことができ、しかも、ウエハを破損させたりゴミを生じることなくアライメントできるウエハのアライメント方法を提供する。【解決手段】 少なくとも表面に保護テープ2が貼り付けられたウエハ1を吸着回転テーブル21で保持して回転させ、赤外線照射ユニット22の赤外線発光素子23とCCDカメラ24を用い、上記ウエハ1の外周部を赤外線によって非接触で検出してアライメントする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
少なくとも表面に保護テープが貼り付けられたウエハを保持して回転させ、このウエハの外周部を赤外線を用いて非接触で検出してアライメントするウエハのアライメント方法。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/677 ,  B65G 49/07
FI (3件)：
H01L21/68 M ,  H01L21/68 C ,  B65G49/07 H
Fターム (24件)：
5F031CA02 ,  5F031DA15 ,  5F031DA20 ,  5F031EA10 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA30 ,  5F031GA28 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031HA12 ,  5F031HA59 ,  5F031JA04 ,  5F031JA05 ,  5F031JA35 ,  5F031KA14 ,  5F031MA34 ,  5F031MA37 ,  5F031MA38 ,  5F031PA20 ,  5F031PA23
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)

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