露光装置および方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-003985
公開番号（公開出願番号）：特開平10-199794
出願日： 1997年01月13日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：

【要約】【課題】基板の伸縮量を算出してステップ移動させる際、合わせずれが生じることなくパターンを露光することができる露光装置を提供する。【解決手段】露光装置は光源7、振動子3、受光スリット2、オートフォーカスセンサ9、中継基板8などからなる基板の傾き量測定機構を有し、露光ステージ5に載置された基板の伸縮量を測定する際、まず、基板6に割り当てられた64ショットのうち任意の10ショットに形成された位置検出マーク16の座標xを測定する。位置検出マーク16の座標xが測定されたショットの傾き量θを測定する。ショットの中心Oから距離G離れた測定点a1、測定点a2をショットの隅に設定し、設定された測定点a1の高さF1および測定点a2の高さF2を測定する。測定された高さF1、F2から1ショットの傾き量θを算出し、算出されたショットの傾き量θで位置検出マークの座標xを補正する。

請求項（抜粋）：

露光ステージに載置された基板の伸縮量を算出する伸縮量算出手段を備え、該算出された伸縮量に応じたステップ量だけ前記基板を移動して露光する露光装置において、前記露光ステージに載置された基板の傾き量を算出する傾き量算出手段と、該算出された傾き量で前記算出される伸縮量を補正する伸縮量補正手段とを備えたことを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521 , H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/30 516 B , G03F 7/20 521 , H01L 21/68 K

引用特許：

審査官引用 (7件)

位置合わせ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-297121 出願人：株式会社ニコン
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-027179 出願人：株式会社ニコン
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-314328 出願人：キヤノン株式会社

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