特許
J-GLOBAL ID:200903005171269366
超音波振動素子及びそれを用いた超音波アクチュエータ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
渡邉 一平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-348033
公開番号(公開出願番号):特開2005-192388
出願日: 2004年12月01日
公開日(公表日): 2005年07月14日
要約:
【課題】片端をフリーにして、共振周波数近傍で大振幅で駆動させた場合であっても、破壊され難く耐久性があり、エネルギー損失が小さく高効率であり、より低廉に作製することが出来る超音波振動素子を提供すること。【解決手段】超音波振動素子40の提供による。超音波振動素子40は、交互に積層をされた圧電層44と電極層48,49とを有し、圧電横効果に基づく変位によって共振周波数近傍の振動を励振する圧電素子である。超音波振動素子40は、直方体状を呈する駆動体41で構成され、その駆動体41が、振動発生部46と端子電極部47とを有し、端子電極部47は、直方体状を呈する駆動体41の一の端面の側に設けられ、振動発生部46において、電極層48,49が圧電層44の全面に積層をされ、端子電極部47において、一対の外部電極58,59が一の端面に備わり、複数の電極層48,49が、概ね1層おきに、一対の外部電極58,59と、それぞれ導通をしている。【選択図】図4
請求項(抜粋):
交互に積層をされた、圧電材料からなる複数の圧電層と、導電材料からなる複数の電極層と、を有するとともに、直方体状を呈する駆動体で構成され、その直方体状を呈する駆動体の長手方向の圧電横効果に基づく変位によって共振周波数近傍の振動を励振する圧電素子であって、
前記駆動体は、振動発生部と端子電極部とを有し、前記端子電極部は、前記直方体状を呈する駆動体の一の端面の側に設けられ、
前記振動発生部において、前記電極層が前記圧電層の全面に積層をされ、
前記端子電極部において、一対の外部電極が前記一の端面に備わり、前記複数の電極層が、略1層おきに、前記一対の外部電極の何れかと導通をしている超音波振動素子。
IPC (5件):
H02N2/00
, H01L41/083
, H01L41/09
, H01L41/187
, H01L41/22
FI (7件):
H02N2/00 C
, H01L41/08 J
, H01L41/22 Z
, H01L41/08 Q
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101J
Fターム (12件):
5H680AA06
, 5H680AA12
, 5H680BB02
, 5H680BB13
, 5H680CC02
, 5H680DD02
, 5H680DD23
, 5H680DD37
, 5H680DD39
, 5H680DD82
, 5H680DD95
, 5H680DD98
引用特許:
出願人引用 (3件)
審査官引用 (8件)
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積層型圧電振動子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-163126
出願人:松下電器産業株式会社
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圧電トランス
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-331218
出願人:株式会社村田製作所
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振動アクチュエータ及びその調整方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-018722
出願人:株式会社ニコン
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超音波振動子及び該超音波振動子を用いた超音波 モータ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-249780
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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超音波リニアモータ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-373362
出願人:大西一正, ヒーハイスト精工株式会社, 株式会社サンシン
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積層型圧電アクチュエータ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-241666
出願人:太平洋セメント株式会社
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積層型圧電素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-186283
出願人:トーキンセラミクス株式会社
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積層型圧電素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-004273
出願人:アルプス電気株式会社
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